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塔城M4D9-17劃片刀半導(dǎo)體晶圓切割刀

更新時間:2025-09-07 編號:152mirpd2ba69f
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目前,機(jī)械式金剛石切割是劃片工藝的主流技術(shù)。在這種切割方式下,金剛石刀片(Diamond Blade)以每分鐘3萬轉(zhuǎn)到4萬轉(zhuǎn)的高轉(zhuǎn)速切割晶圓的街區(qū)部分,同時,承載著晶圓的工作臺以一定的速度沿刀片與晶圓接觸點(diǎn)的切線方向呈直線運(yùn)動,切割晶圓產(chǎn)生的硅屑被去離子水(DI water)沖走。依能夠切割晶圓的尺寸 ,目前半導(dǎo)體界主流的劃片機(jī)分8英寸和12英寸劃片機(jī)兩種。

高密度的金剛石顆??梢匝娱L劃片刀的壽命,同時也可以減少晶圓背面崩角。而低密度的金剛石顆??梢詼p少正面崩角。硬的粘結(jié)材料可以更好地“固定”金剛石顆粒,因而可以提高劃片刀的壽命,而軟的粘結(jié)材料能夠加速金剛石顆粒的“自我鋒利”(Self Sharpening)效應(yīng),令金剛石顆粒保持尖銳的棱角形狀,因而可以減小晶圓的正面崩角或分層,但代價是劃片刀壽命的縮短。刀鋒的長度應(yīng)根據(jù)晶圓的厚度,承載薄膜的厚度,大允許的崩角的尺寸來進(jìn)行定義,刀鋒不能選得過長,因為長的刀鋒會在切割時引起刀片的擺動,會導(dǎo)致較大的崩角。

通常在切割前會在晶圓背部貼上UV膜或藍(lán)膜,之后將貼有UV膜的晶圓放入劃片機(jī)中,設(shè)置好程序開始劃片,劃片結(jié)束后拿出晶圓,進(jìn)行解UV等工序。藍(lán)膜成本較低,但是需要通過機(jī)械手段+溫度輔助才能將芯片剝離;而UV膜粘性可以通過紫外線照射來改變。在劃片完成后,晶圓被暴露在紫外光下,這使得膜的粘性降低,從而容易地剝離芯片。

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詳細(xì)資料

主營行業(yè):灌封膠水
公司主營:灌封膠,三防漆,導(dǎo)電膠,導(dǎo)熱墊片
采購產(chǎn)品:灌封膠,導(dǎo)熱膠,導(dǎo)電膠,絕緣墊片
主營地區(qū):北京
企業(yè)類型:有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)
注冊資金:人民幣2000000萬
公司成立時間:2016-02-02
員工人數(shù):小于50
經(jīng)營模式:生產(chǎn)+貿(mào)易型
最近年檢時間:2016年
登記機(jī)關(guān):朝陽分局
經(jīng)營范圍:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓,銷售社會公共安全設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表,橡塑制品、五金交電(不從事實體店鋪經(jīng)營)、金屬材料、化工產(chǎn)品(不含危險化學(xué)品)、計算機(jī)、軟件及輔助設(shè)備。(企業(yè)依法自主選擇經(jīng)營項目,開展經(jīng)營活動;依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依批準(zhǔn)的內(nèi)容開展經(jīng)營活動;不得從事本市產(chǎn)業(yè)政策禁止和限制類項目的經(jīng)營活動。)
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