江蘇維揚直拉式單晶爐回收 分子泵回收附近
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研究所國內以西安理工大學的晶體生長設備研究所為代表,自61年起開始生產(chǎn)晶體生長設備。主要產(chǎn)品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛機電工程有限是國內單晶硅生長爐行業(yè)的后起之秀,自主研發(fā)了真正的全自動控制系統(tǒng),產(chǎn)品迅速了IC級硅材料行業(yè)和太陽能行業(yè),主要產(chǎn)品有TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR8-ZJS、TDR9-ZJS、TDR112A-ZJS。藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術:目前,大多數(shù)單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法,通常是生產(chǎn)完一爐后,等單晶爐冷卻后,再往主爐室坩堝內裝料,進行下一次生產(chǎn),這樣既浪費了時間,又造成了熱量的流失,且在拉晶棒的過程中,不能進行補料操作,在拉晶棒的后期階段,會因為硅料中某些元素的揮發(fā)而影響晶棒后半部分的質量。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術的缺陷,提供一種連續(xù)拉晶單晶爐,它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料,從而實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,減少了冷卻、拆爐、裝爐的時間,提高了生產(chǎn)效率,也減少了熱量的流失。為了解決上述技術問題,本發(fā)明的技術方案是:一種連續(xù)拉晶單晶爐,它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅動裝置和上驅動裝置,所述主爐室和下驅動裝置均安裝在底座上,
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