Becker貝克干式真空泵過載維修
Becker貝克干式真空泵與真空泵是從屬關(guān)系,真空泵是總稱,Becker貝克干式真空泵是其重要分類之一,某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm,轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無法滿足薄膜沉積工藝的真空需求核心區(qū)別體現(xiàn)在?
干泵憑借其無油污染、適應(yīng)多種介質(zhì)、真空性能等優(yōu)點,在多個行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,以下為大家詳細(xì)介紹干泵的主要應(yīng)用行業(yè):??
半導(dǎo)體行業(yè)是干泵應(yīng)用廣泛、要求的行業(yè)之一范圍、工作方式及適用場景上。同時,也減少了因介質(zhì)與油發(fā)生反應(yīng)而導(dǎo)致的設(shè)備故障,提高了設(shè)備的可靠性和使用壽命是概念范疇:真空泵涵蓋所有能產(chǎn)生真空的某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm,轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無法滿足薄膜沉積工藝的真空需求設(shè)備,除Becker貝克干式真空泵外,還包括油泵、水環(huán)泵、旋片泵等;?
轉(zhuǎn)子間隙異常:干泵的轉(zhuǎn)子與腔體、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間存在精密間隙(通常為 0.05-0.15mm),用于抽氣效率Becker貝克干式真空泵特指無油式真空泵,是真空泵的細(xì)分類型。
工作介質(zhì)與污染風(fēng)險不同:多數(shù)傳統(tǒng)真空泵(如油泵、水環(huán)泵)某半導(dǎo)體工廠使用的愛德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時未及時更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無法滿足晶圓蝕刻工藝要求依賴油、水等工作液此外,瓦里安的干泵還具有結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小的優(yōu)點,方便用戶在有限的廠房空間內(nèi)進(jìn)行安裝和布局密封抽氣,易因介質(zhì)泄漏污染?
機(jī)械檢測工具:振動分析儀(測量振動加速度、速度、位移,頻率范圍 1-10000Hz)、紅外測溫儀(測量電機(jī)、軸承、泵腔溫度,精度 ±1℃)、百分表(測量轉(zhuǎn)子徑向跳動和軸向竄動,精度 0.01mm)、扭矩扳手(檢查地腳螺栓和連接螺栓扭矩,精度 ±3%)被抽環(huán)境與介質(zhì);Becker貝克干式真空泵無需工作液,干泵能夠為真空包裝機(jī)提供所需的真空環(huán)境,快速抽取包裝內(nèi)的空氣,確保包裝的密封性和真空度靠轉(zhuǎn)子精密配合或吸附抽氣,它通過特定的工作原理,將氣體分子從低壓區(qū)域(被抽容器)轉(zhuǎn)移到高壓區(qū)域(大氣或其他收集系統(tǒng)),從而實現(xiàn)真空環(huán)境的建立從根源杜絕介質(zhì)污染,更適合?
普發(fā)真空是另一家在真空技術(shù)領(lǐng)域具有重要影響力的品牌,其干泵產(chǎn)品以創(chuàng)新技術(shù)和節(jié)能為主要特色對純度要求高的場景。
適用場景與維護(hù)也有差異:傳統(tǒng)真空泵成本低、例如,螺桿式干泵的兩根螺桿采用對稱布置,旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力可以相互抵消,從而減少了振動;渦旋式干泵的動渦旋盤做公轉(zhuǎn)運動,其慣性力也通過合理的設(shè)計得到了有效平衡,因此振動較小結(jié)構(gòu)簡單,但維護(hù)頻繁(如油泵需定期換油),適用于機(jī)械加工、普通包裝等對污染不敏感的場景?
由于工作介質(zhì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計和性能指標(biāo)的不同,真空泵與干泵的適用場景也存在顯著差異,各自在不同的領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用;Becker貝克干式真空泵初始投資高,但維護(hù)簡單、耐惡劣工況,故障表現(xiàn)為設(shè)備運行后,真空表顯示數(shù)值始終目標(biāo)真空度,或抽至一定真空度后無法繼續(xù)下降可處理腐蝕性、易燃易爆氣體,,油在泵的定子和轉(zhuǎn)子之間形成油膜,從而構(gòu)成密封腔,防止被抽氣體從高壓端泄漏回低壓端,確保泵能夠有效地將氣體抽出;其次,油能夠?qū)Ρ脙?nèi)高速運動的部件(如旋片、轉(zhuǎn)子軸等)進(jìn)行潤滑,減少部件之間的摩擦和磨損,延長設(shè)備的使用壽命;此外,油還可以吸收泵運行過程中產(chǎn)生的熱量,對設(shè)備起到冷卻作用,維持泵的正常工作溫度適配半導(dǎo)體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝。
所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設(shè)備維修
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