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直拉硅單晶熱場(chǎng)加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場(chǎng)及加熱器簡(jiǎn)介直拉硅單晶爐的熱場(chǎng)是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長(zhǎng)的整個(gè)溫度場(chǎng)系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤(pán)、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場(chǎng)溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，具體地，為了減小螺釘16的上端部與上減震橡膠墊172之間的壓強(qiáng)，進(jìn)而延長(zhǎng)上減震橡膠墊172的使用壽命，所述螺釘16的上端部和上減震橡膠墊172之間設(shè)置有墊片173。在本實(shí)施例中，所述螺釘16設(shè)置有四個(gè)，為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，可以更方便地將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置，并方便外部化料器7的移動(dòng)、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和化料器旋臂18，所述底座1上設(shè)置有立柱10，所述化料器旋臂18鉸接在立柱10上，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置連接在化料器旋臂18上，所述外部化料器7連接在化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便在不繼續(xù)加料時(shí)，通過(guò)化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)外部化料器7上升不干涉主爐室坩堝21上升的位置；和化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置及外部化料器7隨化料器旋臂18一起轉(zhuǎn)動(dòng)。

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所述熱場(chǎng)73套裝在化料器坩堝72的外側(cè)，便硅料依次進(jìn)入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72，并在化料器坩堝72內(nèi)經(jīng)熱場(chǎng)73熔化后又進(jìn)入主爐室坩堝21，為了方便外部加料器6的移動(dòng)、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6升降的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述外部加料器6通過(guò)加料器旋臂8連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過(guò)加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8升降，并通過(guò)加料器旋臂8帶動(dòng)外部加料器6升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋臂8之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨加料器旋臂8一起升降，并通過(guò)加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂8又帶動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)。

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