Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計(jì)，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達(dá)到高分 辨率。它由兩個(gè)協(xié)同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個(gè)全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢(shì)也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。

Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過(guò)優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場(chǎng)及磁場(chǎng)分布， 獲得出色的信號(hào) 探測(cè)效率， 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級(jí)分辨率。具體來(lái)說(shuō)， 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比，它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場(chǎng)降低了 3 倍， 約 為 1mT ，并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像， 而無(wú)需將樣品浸沒(méi)在電磁場(chǎng)中。

分辨率模式
在高分辨率電子槍模式下， 電子束色差降低， 從而實(shí)現(xiàn)更小的束斑。
在樣品臺(tái)減速技術(shù)模式下， 為樣品施加減 速電壓。該減速電壓可進(jìn)一步提高 1 kV 以 下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測(cè)器的檢 測(cè)效率。

背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下，可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射， 被 Gemini 鏡筒電子束推進(jìn)器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量，它們會(huì)在電 子束推進(jìn)器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。

專為日常檢測(cè)和分析應(yīng)用而設(shè)計(jì)，蔡司 EVO 擁有的操作 設(shè)計(jì)理念，無(wú)論是經(jīng)驗(yàn)豐富的顯微技術(shù)人員還是不具備掃描 顯微鏡知識(shí)的工程師，均可輕松上手。它能夠提供出色 的數(shù)據(jù)，特別適合于后續(xù)檢測(cè)中無(wú)法涂覆導(dǎo)電層的非
導(dǎo)電零部件。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結(jié)構(gòu)分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結(jié)構(gòu)表征,膜厚測(cè)量。
■ 半導(dǎo)體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測(cè)量等。
■ 醫(yī)療器械檢測(cè)
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測(cè)量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學(xué)
金屬表面細(xì)胞生長(zhǎng)研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細(xì)菌生長(zhǎng)表征等。

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