江蘇鹽都單晶爐回收 江蘇鹽都離子泵回收

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根據(jù)權(quán)利要求4所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)的上端部(2-4)的外壁與該爐的保溫筒(17)密封連接。6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)各通氣孔(2-3)與該爐的排氣口 (13)通過通氣管(19) 相連通。7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)由石墨制成。

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