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所在地 | 廣東深圳光明新區(qū)公明 |
11年
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離子鍍膜,一個(gè)精密的工藝過(guò)程,其核心是離子濺射鍍膜。對(duì)于導(dǎo)電靶,偏壓電源扮演了關(guān)鍵角色,采用直流電場(chǎng)的精密調(diào)控,確保陰極表面的電子被加速,進(jìn)而轟擊氣體分子,引發(fā)電離現(xiàn)象。這個(gè)過(guò)程中,電子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng),形成雪崩效應(yīng),直至氣體被擊穿,形成穩(wěn)定的電離電流,進(jìn)而驅(qū)動(dòng)離子加速,撞擊靶材,將原子釋放并沉積在樣品表面,形成所需涂層。
偏壓電源,就像熒光燈中的核心組件,它通過(guò)高頻轉(zhuǎn)換電路,以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細(xì)調(diào)整通過(guò)改變高頻轉(zhuǎn)換電路的輸入電壓實(shí)現(xiàn),穩(wěn)壓性能高達(dá)1%。這種設(shè)計(jì)允許在工藝所需電壓的同時(shí),通過(guò)調(diào)整脈沖寬度來(lái)控制工件的加熱效果,適用于各種涂層需求,從工具保護(hù)到裝飾美化。
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抽空時(shí)間相同,而真空度偏低,這時(shí)候關(guān)閉主閥,如真空計(jì)指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏,應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠,查找真空泵及閥門(mén)看哪里出現(xiàn)泄漏,或是擴(kuò)散泵油污染或氧化;或前級(jí)管路密封不好,泵油不足;或泵油乳化,軸封漏油等。漏--分內(nèi)漏和外漏,較大的漏點(diǎn)可以用火焰法,利用氣流能使火焰偏離的原理,先抽上真空,比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋,會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移,則可找到漏點(diǎn)。查找小漏和微漏:利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來(lái)檢漏,比如丙酮或乙醇,用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇,噴到漏點(diǎn)時(shí),電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心,一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了--也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了,然后再?lài)娚?。好是反?fù)幾次,確認(rèn)漏點(diǎn)。內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上,查外漏沒(méi)有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn),但是卻有以下現(xiàn)象:機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。
離子滲氮:可以在輝光放電條件下,將N、C等元素滲入到零件和模具內(nèi)部、明顯提高表面硬度、抗疲勞等性能和耐腐蝕性,相對(duì)于總體滲氮處理時(shí)間短、濕度低、變形小、表面性能可控,可用于各種鋼鐵及鈦合金結(jié)構(gòu)件,各種模具和各種不銹鋼制品。
等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備與技術(shù)(離子滲氮,氮碳共滲)
等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD)是一種新型的脈沖直流等離子體輔助沉積硬質(zhì)鍍膜新技術(shù)。在一定壓力、溫度的真空爐內(nèi),加入適當(dāng)比例的不同工作氣體,在脈沖電壓的作用下,通過(guò)輝光放電產(chǎn)生均勻等離子體。在不同工藝條件下,可在被處理工件表面形成各種硬質(zhì)膜如TiN、TiC、TiCN、(Ti、Si)N、(Ti、Si)CN及多層復(fù)合膜等,顯微硬度高達(dá)HV2000--2500。
真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備需要提供智能、穩(wěn)定的冷凍水,來(lái)確保真空鍍膜工藝中電鍍液的溫度恒定,所以會(huì)選擇使用水冷式冷水機(jī)來(lái)作為真空鍍膜加工冷卻設(shè)備。
一 真空鍍膜加工中冷卻設(shè)備冷水機(jī)的作用
真空鍍膜加工過(guò)程中,真空鍍膜機(jī)作為主要設(shè)備,工作過(guò)程中有高頻電流過(guò)程,電導(dǎo)會(huì)在反復(fù)過(guò)程中產(chǎn)生大量熱能并且集聚在一起,需要冷卻設(shè)備及時(shí)地進(jìn)行冷卻,避免設(shè)備部件損壞,影響使用壽命;另外,真空鍍膜電鍍液需要根據(jù)電鍍產(chǎn)品不同進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),并保持相對(duì)恒溫,反復(fù)鍍膜會(huì)造成鍍液溫度升高,同樣需要冷卻設(shè)備來(lái)準(zhǔn)確地控制和穩(wěn)定電鍍液的溫度。在工業(yè)生產(chǎn)控溫中,根據(jù)真空鍍膜加工的實(shí)際需求,選用相應(yīng)規(guī)格的冷水機(jī)設(shè)備來(lái)進(jìn)行、穩(wěn)定的溫度控制調(diào)節(jié)是經(jīng)濟(jì)有效的解決方案。
1)所需設(shè)備:CCZK-1850SFL連續(xù)式磁控鍍膜流水線(xiàn)
2) 獲得膜層:一層或多層金屬,合金或金屬化合物膜層
3)涂裝流程: 玻璃產(chǎn)品的前處理清洗過(guò)程---進(jìn)片上線(xiàn)臺(tái)---粗抽室---過(guò)渡室---精抽室---緩沖室---鍍膜室---后緩沖---精抽室---過(guò)渡室---粗抽室---出片下線(xiàn)臺(tái)---淋漆流水線(xiàn)(如果需要)---包裝成品
4)基本配置:
1.腔體結(jié)構(gòu):采用的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線(xiàn),配備前后粗抽室,前后過(guò)渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。
2.腔體材質(zhì):碳鋼
3.靶材設(shè)計(jì):采用新型旋極靶材以及平面陰極靶材。
4.電源配置:配備大功率中頻或直流磁控濺射電源
5.電氣控制:生產(chǎn)線(xiàn)采用PLC全過(guò)程控制,配備工業(yè)計(jì)算機(jī)人機(jī)交互系統(tǒng),快速的節(jié)拍設(shè)計(jì)。
6.人機(jī)對(duì)話(huà):控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)人、機(jī)對(duì)話(huà),及時(shí)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行必要干預(yù)。運(yùn)行過(guò)程有報(bào)警提示和故障顯示,故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
7.傳動(dòng)系統(tǒng):滾軸傳動(dòng),變頻可調(diào)
8.可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
9. 生產(chǎn)線(xiàn)安采用了的插板閥進(jìn)行腔室隔斷,可以實(shí)現(xiàn)有效隔斷,穩(wěn)定工藝氣體。
10.生產(chǎn)線(xiàn)采用了均勻進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),氣流注入均勻平緩;
11.泵抽系統(tǒng):擴(kuò)散泵組或分子泵組+機(jī)械泵+羅茨泵
5)需求配套設(shè)施:
直接的鍍膜控制方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源,通過(guò)PID控制循環(huán)驅(qū)動(dòng)擋板,保持蒸發(fā)速率。只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可以控制整個(gè)的鍍膜過(guò)程。但是(QCM)的度是有限的,部分原因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。
? ? 此外雖然QCM在較低溫度下非常穩(wěn)定,但溫度較高時(shí),它會(huì)變得對(duì)溫度非常敏感。在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過(guò)程中,很難阻止傳感器跌入這個(gè)敏感區(qū)域,從而對(duì)膜層造成重大誤差。
? ? 光學(xué)監(jiān)控是高精密鍍膜的的監(jiān)控方式,這是因?yàn)樗梢愿乜刂颇雍穸?如果運(yùn)用得當(dāng))。度的改進(jìn)源于很多因素,但根本的原因是對(duì)光學(xué)厚度的監(jiān)控。
? ? OPTIMAL SWA-I-05單波長(zhǎng)光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng),是采用間接測(cè)控,結(jié)合汪博士開(kāi)發(fā)的光學(xué)監(jiān)控軟件,有效提高光學(xué)反應(yīng)對(duì)膜厚度變化靈敏度的理論和方法來(lái)減少誤差,提供了反饋或傳輸?shù)倪x擇模式和大范圍的監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)。特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括非規(guī)整膜監(jiān)控。
所屬分類(lèi):設(shè)備回收/工廠(chǎng)設(shè)備回收
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