銥粉回收， 銥粉在半導體封裝中的回收技術
半導體封裝用銥濺射靶材（純度>99.995%）的回收工藝：
廢料特征：
靶材殘體含Ir 85-92%，摻雜Al?O?或SiO?散熱層。
分離技術：
高壓水射流（350MPa）剝離陶瓷層（效率>99%）。
真空感應熔煉（1600℃）去除氧化物夾雜。
再生標準：
參數(shù) SEMI F47標準 再生靶材
電阻率(μΩ·cm) ≤5.3 5.1
晶粒尺寸(μm) 10-50 35
市場影響：臺積電采用該技術后，靶材采購成本下降28%。
銥粉回收 銥合金廢料（Ir-25Re）的回收工藝
火箭發(fā)動機噴管合金的特殊處理：
溶解難題：
錸（Re）與銥形成固溶體，常規(guī)酸無法溶解。
創(chuàng)新方法：
熔鹽電解（NaCl-KCl-IrCl?，700℃）選擇性沉積銥。
剩余陽極泥提取錸酸銨（NH?ReO?）。
產(chǎn)品指標：
再生銥粉氧含量<500ppm，符合AMS 5898G標準。
戰(zhàn)略價值：該技術被列入美國部關鍵材料回收計劃。
銥粉回收的聲表面波分選技術
高頻聲波（5MHz）分離銥復合物：
設備原理：
壓電換能器產(chǎn)生表面波，利用密度差異分離。
分選效果：
物料 銥回收率(%) 純度(%)
Ir/Al?O? 98 99.5
Ir/SiO? 95 99.2
Ir/石墨 90 98.8
優(yōu)勢：干法工藝，無廢水產(chǎn)生，處理量200kg/h。
銥粉回收一克多少錢？答：銥粉回收一克800元。
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