松江整流柜回收 松江藍(lán)寶石單晶爐回收

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基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動(dòng)分析\人工晶體是太陽(yáng)能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設(shè)備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實(shí)際工作中要求提拉機(jī)構(gòu)既要做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),又要做上升運(yùn)動(dòng),同時(shí)還要保持速度穩(wěn)定,對(duì)中性好,不能出現(xiàn)蠕動(dòng)和擺動(dòng)。提拉系統(tǒng)的晃動(dòng)會(huì)引起生長(zhǎng)瞬間微觀擴(kuò)散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動(dòng),導(dǎo)致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對(duì)流情況不穩(wěn)定,導(dǎo)致生長(zhǎng)時(shí)固液界面過(guò)冷度的變化,為枝晶生長(zhǎng)提供條件[1],會(huì)嚴(yán)重地影響單晶體的內(nèi)在品質(zhì)。

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一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術(shù)：目前，大多數(shù)單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法，通常是生產(chǎn)完一爐后，等單晶爐冷卻后，再往主爐室坩堝內(nèi)裝料，進(jìn)行下一次生產(chǎn)，這樣既浪費(fèi)了時(shí)間，又造成了熱量的流失，且在拉晶棒的過(guò)程中，不能進(jìn)行補(bǔ)料操作，在拉晶棒的后期階段，會(huì)因?yàn)楣枇现心承┰氐膿]發(fā)而影響晶棒后半部分的質(zhì)量。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種連續(xù)拉晶單晶爐，它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，減少了冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，也減少了熱量的流失。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種連續(xù)拉晶單晶爐，它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅(qū)動(dòng)裝置和上驅(qū)動(dòng)裝置，所述主爐室和下驅(qū)動(dòng)裝置均安裝在底座上，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計(jì)了一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實(shí)際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2　設(shè)計(jì)的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過(guò)程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動(dòng)提拉桿上下運(yùn)動(dòng)。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié) ,它相對(duì)于給定信號(hào)的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見下節(jié)式 ( 3) )

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