羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

羅茨真空泵是一種容積式真空泵，在真空獲得領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹：
工作原理
羅茨真空泵主要由兩個(gè) “8” 字形的轉(zhuǎn)子組成，這兩個(gè)轉(zhuǎn)子相互嚙合，在泵殼內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間存在著微小的間隙，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體從進(jìn)氣口被吸入泵腔，隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)，氣體被封閉在由轉(zhuǎn)子和泵殼形成的空間內(nèi)，并被逐步推移到排氣口，終被排出泵外。在整個(gè)過程中，轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)不斷重復(fù)上述吸氣、封閉、推移和排氣的過程，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)抽氣，達(dá)到降低被抽容器內(nèi)壓力的目的。

羅茨真空泵是一種常用的旋片泵，也被稱為機(jī)械真空泵。它是由兩個(gè)相互嚙合的旋轉(zhuǎn)齒輪構(gòu)成，這些齒輪不斷地轉(zhuǎn)動(dòng)以創(chuàng)建真空。
羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)由以下主要部件組成：
1. 殼體：通常由鑄鐵或鋼制成，用于容納其他部件。
2. 旋轉(zhuǎn)齒輪：羅茨真空泵有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)齒輪，它們的齒數(shù)相等，但是相互錯(cuò)開角度。這些齒輪通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)并在殼體內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
3. 進(jìn)氣口和排氣口：用于進(jìn)出氣體的通道。
4. 吸氣端和排氣端：氣體在吸氣端進(jìn)入真空泵，然后經(jīng)過齒輪間的間隙被壓縮，并終通過排氣端被排出。

羅茨真空泵的工作原理如下：
1. 當(dāng)羅茨真空泵開始運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)齒輪開始相互嚙合并旋轉(zhuǎn)。
2. 在齒輪旋轉(zhuǎn)過程中，吸氣端處的氣體被困在齒輪間的容積中。
3. 隨著齒輪的旋轉(zhuǎn)，氣體被推向排氣端，并在齒輪間逐漸被齒輪間逐漸被壓縮。由于齒輪的旋轉(zhuǎn)方向相反，氣體在齒輪間來回壓縮和釋放，從而形成氣體的連續(xù)壓縮和排放。
4. 壓縮的氣體終通過排氣口被排出系統(tǒng)，形成真空。

羅茨真空泵的工作過程中，齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)是無脈動(dòng)的，因此可以提供相對穩(wěn)定和平滑的真空流量。并且由于沒有潤滑油或液體用于密封，羅茨真空泵能夠處理一些對油污敏感的應(yīng)用。
需要注意的是，羅茨真空泵通常用作粗真空泵，其工作范圍在大氣壓到10^-2 Pa之間。對于更高真空需求的應(yīng)用，通常需要與其他類型的真空泵配合使用，如分子泵或擴(kuò)散泵。
總結(jié)起來，羅茨真空泵通過旋轉(zhuǎn)齒輪的嚙合運(yùn)動(dòng)來創(chuàng)建真空。其簡單的結(jié)構(gòu)和穩(wěn)定的運(yùn)行使得它成為許多工業(yè)領(lǐng)域中常用的真空泵之一。

羅茨真空泵的特點(diǎn)是：啟動(dòng)快，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低，抽速大、，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體。這個(gè)壓力范圍恰好處于油封式機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵之間。因此，它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時(shí)它又稱為機(jī)械增壓泵。

羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及化工、食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。真空泵配件為用于真空泵噪聲治理的，真空泵消音器。

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