南通濾波柜回收 南通藍(lán)寶石長晶爐回收
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本發(fā)明的直拉式單晶生長爐中，經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長，平均每個(gè)直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L，有效降低了生產(chǎn)成本，且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結(jié)構(gòu)的整齊性，還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長爐中，碗形的氣流導(dǎo)向裝置設(shè)于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間，且氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔及一對(duì)電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對(duì)電極孔配合設(shè)置，有效地減小了爐內(nèi)空間，便于迅速及時(shí)地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出，且利于減少熱能和的消耗量，使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外，由于該爐的排氣口與氣流 導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通，藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)副爐室移動(dòng)，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；、當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進(jìn)而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對(duì)下驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅(qū)動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。

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結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了系統(tǒng)UG三維實(shí)體建模、動(dòng)平衡數(shù)學(xué)建模、計(jì)算以及提拉系統(tǒng)動(dòng)平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動(dòng)平衡分析、計(jì)算的結(jié)果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動(dòng)平衡效果是比較好的。隨后,針對(duì)某型號(hào)單晶爐提拉系統(tǒng)的實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計(jì)算,三維軟件UG建模計(jì)算和該設(shè)備“以動(dòng)測靜”法的平衡實(shí)驗(yàn)

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