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進一步為了當不再繼續(xù)加料時,可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并方便外部化料器的移動、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂,所述底座上設(shè)置有立柱,所述化料器旋臂鉸接在立柱上,所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂上,所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動裝置上,以便在不繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置;和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動。進一步提供了一種化料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu),所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿、絲杠、電機和連接塊,所述支撐桿連接在化料器旋臂上,所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上,所述電機連接在絲杠上,所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上,所述外部化料器連接在連接塊上,以便通過電機驅(qū)動絲杠旋轉(zhuǎn),進而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運動,并通過所述連接塊帶動外部化料器升降。
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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應地,作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標和增大單晶錠的直徑和長度,以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場上,硅晶體直徑大致每4~5年增長1時(25.4mm),相應地,生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3~5公斤、8~12公斤、15~劉公斤和朋~6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中,有兩個條件是相輔相成、共同進步的,這是單晶爐和拉晶工藝。
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