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氦質譜檢漏法是采用氦氣作為示漏氣體。由于氦氣在空氣中含量極少，分子小，質量輕，易于穿過漏孔。而且氦氣、無色、不易燃、不冷凝，在化學上是完全惰性的。進入系統(tǒng)后，流動與擴散亦快，在檢漏過程中不受其它氣體的干擾。因此，它是一種反應靈敏，能檢出極微小漏孔的選擇性檢漏方法。
氦質譜的常見檢測方法：根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，將氦質譜檢漏法分為真空法、真空壓力法和背壓法。
