Gemini 物鏡的設(shè)計結(jié)合了靜電場與磁場, 在提升光學(xué)性能的同時將它們對樣品的影 響降至低。因此,即便是要求苛刻的樣 品 —— 如磁性材料,也能進(jìn)行成像。 在 Gemini 鏡筒設(shè)計理念中, Inlens 用二次 電子( SE ) 和背散射電子( BSE ) 探測器來 確保的信號檢測。
Gemini 2 型電子光學(xué)鏡筒讓 GeminiSEM 460 成為高束流下獲取高分辨率成像和快速 分析的理想之選。另外,它還集上一代 Gemini 光學(xué)系統(tǒng)的所有優(yōu)勢于一身。例如, 確保了大視野范圍內(nèi)的無畸變 EBSD 分析和 高分辨率成像的物鏡無漏磁設(shè)計。
因此您也能夠在不影響電子光學(xué)性能的前 提下傾斜樣品, 甚至還能輕松完成磁性樣 品成像。
Nano-twin 物鏡
Nano-twin 物鏡是一種在低加速電壓條件下 工作的電鏡( EM ) 物鏡。通過優(yōu)化幾何結(jié) 構(gòu)和靜電場及磁場分布, 獲得出色的信號 探測效率, 從而可以在低電壓下達(dá)到亞納 米級分辨率。具體來說, 與標(biāo)準(zhǔn)的 Gemini 物鏡相比,它在低電壓下的像差降低了 3 倍。這使得樣品上的磁場降低了 3 倍, 約 為 1mT ,并能夠進(jìn)行 1kV 以下亞納米成像, 而無需將樣品浸沒在電磁場中。
? 通過 Nano-twin 物鏡實(shí)現(xiàn)低電壓下的優(yōu) 化高分辨率
? 通過新的大視野概覽模式實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航和 高分辨率成像之間的無縫過渡
? 通過新的自動聚焦功能和新的快速鏡筒對 中算法實(shí)現(xiàn)高速優(yōu)化圖像質(zhì)量。
背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下,可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射, 被 Gemini 鏡筒電子束推進(jìn)器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量,它們會在電 子束推進(jìn)器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
■ 金屬 / 高分子 / 陶瓷材料
表面粗糙度分析, 高分辨金相分析, 摩擦磨損分析, 斷口分析, 腐蝕研究, 原位分析。
■ 微納加工
結(jié)構(gòu)分析,表面粗糙度分析, 高深寬比結(jié)構(gòu)表征,膜厚測量。
■ 半導(dǎo)體和微電子
表面缺陷定位和分析、發(fā)光缺陷觀察,表面粗糙度分析,膜厚測量等。
■ 醫(yī)療器械檢測
表面粗糙度分析,金相分析,膜厚測量,微生物觀察等。
■ 生物材料和醫(yī)學(xué)
金屬表面細(xì)胞生長研究, 微生物金屬腐蝕研究, 植入物表面細(xì)菌生長表征等。
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產(chǎn)品名:場發(fā)射顯微鏡
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