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如果圓柱體放在線圈，那么圓柱體周邊的溫度是一樣的，圓柱體加熱和熔化也沒有產(chǎn)生有害氣體、強光污染環(huán)境。中頻爐廣泛用于有色金屬的熔煉[主要用在熔煉鋼、合金鋼、特種鋼、鑄鐵等黑色金屬材料以及不銹鋼、鋅等有色金屬材料的熔煉，也可用于銅、鋁等有色金屬的熔煉和升溫，保溫，并能和高爐進行雙聯(lián)運行。]、

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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產(chǎn)的發(fā)展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應地，作為集成電路基礎(chǔ)材料的硅單晶生產(chǎn)也在不斷地提高其技術(shù)質(zhì)量指標和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產(chǎn)成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應地，生產(chǎn)投料重也由1公斤逐漸發(fā)展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發(fā)展中，有兩個條件是相輔相成、共同進步的，這是單晶爐和拉晶工藝。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關(guān)閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料，如此循環(huán)，進而完成外部加料、化料，本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產(chǎn)效率；本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室3移動，

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