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本發(fā)明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件;、本發(fā)明可通過副爐室升降驅動裝置和副爐室旋轉驅動裝置驅動副爐室移動,并在副爐室移取晶位的過程中,通過電動接晶托防止晶棒掉落,安全;、當不再繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并通過化料器旋臂的旋轉旋開外部化料器,進而方便拆爐和清理;、本發(fā)明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震,使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響,進而保晶棒質量。藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,因此,避免提拉系統的晃動是單晶爐結構設計的關鍵點之一。在生產實際中發(fā)現,某型號單晶爐的提拉系統在工作轉速接近13~14r/min范圍時,提拉系統的軟軸會出現明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質量和生產效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統進行分析,找出引起提拉系統軟軸晃動
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