杭州濱江控制屏回收 杭州濱江直拉式單晶爐回收
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半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來(lái)替代硅材料,但未來(lái)幾年可以預(yù)見(jiàn),硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過(guò)物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問(wèn)題。這篇論文主要討論的是通過(guò)對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過(guò)程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過(guò)化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問(wèn)題。 藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，原理編輯，把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過(guò)石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化；然后，對(duì)熔化的硅液稍做降溫，使之產(chǎn)生一定的過(guò)冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體（稱(chēng)作籽晶）插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會(huì)在籽晶下端生長(zhǎng)；接著，控制籽晶生長(zhǎng)出一段長(zhǎng)為100mm左右、直徑為3～5mm的細(xì)頸，用于消除高溫溶液對(duì)籽晶的強(qiáng)烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯(cuò)，這個(gè)過(guò)程是引晶；隨后，放大晶體直徑到工藝要求的大小，一般為75～300mm，這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為放肩；接著，突然提高拉速進(jìn)行轉(zhuǎn)肩操作，使肩部近似直角；然后，進(jìn)入等徑工藝，通過(guò)控制熱場(chǎng)溫度和晶體提升速度，生長(zhǎng)出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時(shí)，再將晶體逐漸縮小而形成一個(gè)尾形錐體，稱(chēng)為收尾工藝。這樣一個(gè)單晶拉制過(guò)程基本完成，進(jìn)行一定的保溫冷卻后可以取出。

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回收空調(diào)、冷凝器、變壓器、電容柜，電線電纜，輸配電設(shè)備，配電箱、回收變壓器(干式、油式、箱式)、電梯、空壓機(jī)、高壓開(kāi)關(guān)、互感器、回收UBS電瓶、電動(dòng)機(jī)、壓縮機(jī)、機(jī)械設(shè)備、廚房設(shè)備、酒店設(shè)備、辦公設(shè)備、電抗器、穩(wěn)壓器、高壓柜、低壓柜、啟動(dòng)柜，發(fā)電機(jī)組,生產(chǎn)線，活動(dòng)房，配電柜，收購(gòu)交換器，冷凝器，叉車(chē),行車(chē),廠區(qū)行車(chē)，集裝箱等等
電氣特點(diǎn)(1)本系統(tǒng)采用PLC，工業(yè)彩色觸摸屏，因此系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有用電省, 發(fā)熱小的特點(diǎn)。系統(tǒng)可靠性很高，不會(huì)死機(jī)。同時(shí)觸摸屏和PLC間工作，連接僅僅使用1根通訊線即可。(2) 控制軟件、系統(tǒng)能按照工藝員寫(xiě)入的工藝文件，進(jìn)行半自動(dòng)拉晶，可以在顯示器上修改，立即生效，操作方便。自動(dòng)工藝可以單步執(zhí)行也可以連續(xù)自動(dòng)流程。在溫度閉環(huán)上增加功率限制，信號(hào)故障判斷診斷功能，可以排除觀察孔污染，信號(hào)被干擾，加熱電源故障，加熱器短路，加熱器電阻突變，人工輸入失誤等錯(cuò)誤。(3) 工作站監(jiān)控系統(tǒng)、本系統(tǒng)還配置有工作站監(jiān)控系統(tǒng)，用一臺(tái)PC機(jī)可同時(shí)監(jiān)控8臺(tái)單晶爐，采用RS422高速通訊，光電隔離，可靠性高。

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