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穿過所疼氣流導向裝置(20) 的中軸孔(2-1)，該爐的一對電極柱(15)分別穿過所述電極孔(2-2)， 該爐的排氣口 (13)與氣流導向裝置(20)的各通氣孔(2-3)相連通，氣 流導向裝置(20)的上端部(2-4)設(shè)于該爐的保溫筒(17)與發(fā)熱體(16) 之間。3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導向裝置(20)的中軸孔(2-1)與該爐的石墨中軸(21)活動密封連接。4、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述 氣流導向裝置(20 )的電極孔(2-2 )分別與該爐的電極柱(15 )密封連接。5、

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由于慣性離心力的作用，塵粒和氣流會產(chǎn)生相對運動，使塵粒從氣流中分離、慣性碰撞和接觸阻留含塵氣流在運動過程中遇到物體的阻擋(如擋板、纖維、水滴等) 時，氣流要改變方向進行繞流，細小的塵粒會隨氣流一起流動。粗大的塵粒具有較大的慣性,它會脫離流線，保持自身的慣性運動，這樣塵粒和物體發(fā)生了慣性碰撞而脫離氣流(見圖1)。細小的塵粒隨氣流一起繞流時，如果流線緊靠物體(纖維或液滴) 表面，有些塵粒因與物體發(fā)生接觸而被阻留,這種現(xiàn)象稱為接觸阻留。另外當塵粒尺寸大于纖維網(wǎng)眼而被阻留時，這種現(xiàn)象稱為篩濾作用。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，設(shè)計與仿真編輯在直拉法生長硅單晶的過程中，硅單晶生長的成功與否以及質(zhì)量的高低是由熱場的溫度分布決定的。溫度分布合適的熱場，不僅硅單晶生長順利,而且品質(zhì)較高；如果熱場的溫度分布不是很合理，生長硅單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷，影響質(zhì)量，情況嚴重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。因此在投資硅單晶生長企業(yè)的前期，一定要根據(jù)生長設(shè)備，配置出合理的熱場,從而保生產(chǎn)出來的硅單晶的品質(zhì)。在直拉硅單晶生長工藝中,一般采用溫度梯度來描述熱場的溫度分布情況，其中在固液界面處的溫度梯度為關(guān)鍵。數(shù)值模擬是在一個低成本的情況下,利用電腦計算提供的詳盡資料，用以支持真正的（且昂貴）實驗。

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