物理回收法（適用于金屬靶材）
真空熔煉：將屬靶材廢渣（如銅、鈦）在真空爐中（壓強(qiáng) < 1Pa，溫度 1200-1600℃）熔煉，去除易揮發(fā)雜質(zhì)（如鋅），直接澆鑄為新靶材坯料，純度保持 99.9% 以上。
粉末冶金：靶材碎屑經(jīng)氫化 - 脫氫處理（HDH 工藝）制成金屬粉末，再通過(guò)壓制 - 燒結(jié)（如放電等離子燒結(jié) SPS）制成靶材，適用于鈦、鋯等活性金屬。

廢渣分類(lèi)與收集
源頭分類(lèi)
根據(jù)電鍍工藝（如鍍鉻、鍍銅、鍍鋅等）和廢渣形態(tài)（污泥、濾渣、殘?jiān)龋┓诸?lèi)收集，避免不同成分混雜增加處理難度。
舉例：含鉻廢渣（六價(jià)鉻毒性高）與含鎳廢渣需分開(kāi)收集，防止后續(xù)處理時(shí)交叉污染。
密封存儲(chǔ)
采用防滲漏容器或倉(cāng)庫(kù)存儲(chǔ)，避免雨水沖刷導(dǎo)致重金屬流失污染土壤或地下水。

循環(huán)經(jīng)濟(jì)價(jià)值
回收 1 噸含鎳 10% 的廢渣，可提煉約 100kg 金屬鎳，相當(dāng)于減少 2-3 噸鎳礦石開(kāi)采。
貴金屬回收成本約為原生金屬的 30%-50%，經(jīng)濟(jì)效益顯著。

廢渣主要來(lái)源
靶材損耗：濺射過(guò)程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設(shè)備維護(hù)：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應(yīng)氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應(yīng)生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘?jiān)何矚鈨艋b置（如活性炭吸附、過(guò)濾器）捕獲的金屬粉塵。

直接資源化利用
作為新材料原料：
廢渣中的 TiN 粉末可添加到陶瓷刀具原料中，提高耐磨性；
金屬粉末經(jīng)壓制 - 燒結(jié)后，制成靶材再生料（成本比新靶材低 40%）；
建筑材料添加物：固化穩(wěn)定化后作為混凝土添加劑（需確保重金屬浸出濃度＜GB 5085.6 標(biāo)準(zhǔn)）。

電鍍廢渣中含有大量的重金屬和有機(jī)物，例如鉻、鎳、銅等。這些物質(zhì)在處理過(guò)程中容易溶解，進(jìn)入水源和土壤中，對(duì)生態(tài)環(huán)境造成嚴(yán)重的污染。特別是在排放到水體中后，這些有害物質(zhì)會(huì)對(duì)水生生物產(chǎn)生毒性影響，破壞水生態(tài)系統(tǒng)的平衡。

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