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本文結(jié)合某單晶爐產(chǎn)品的研制 ,設(shè)計(jì)了一種實(shí)用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng) ,并在實(shí)際生產(chǎn)中獲得成功應(yīng)用。2　設(shè)計(jì)的關(guān)鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過(guò)程。提拉控制系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速 n經(jīng)減速器、齒輪齒條減速后帶動(dòng)提拉桿上下運(yùn)動(dòng)。根據(jù)硅單晶生產(chǎn)工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內(nèi)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié) ,它相對(duì)于給定信號(hào)的線性精度 ± 2 %。經(jīng)折算后 (見(jiàn)下節(jié)式 ( 3) )

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采用三相橋式全控整流電路將交流電整流為直流電，例如據(jù)把一根金屬圓柱體放在有交變中頻電流的感應(yīng)圈里，金屬圓柱體沒(méi)有與感應(yīng)線圈直接接觸，通電線圈本身溫度已很低，可是圓柱體表面被加熱到發(fā)紅，甚熔化，而且這種發(fā)紅和熔化的速度只要調(diào)節(jié)頻率大小和電流的強(qiáng)弱能實(shí)現(xiàn)。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，特點(diǎn)編輯HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計(jì)。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動(dòng)，便于裝料和維護(hù)等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計(jì)，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺(tái)的上面，便于平臺(tái)下面設(shè)備的維護(hù)。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡(jiǎn)便干凈。

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