化學組分上的均勻性: 就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過程不科學,那么實際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。
真空鍍膜中常用的塑料,ABS是早運用的,是一起滿意三個條件的塑料,A代表丙烯腈,B代表丁二烯,S代表苯乙烯,塑料中含有以上三種物質(zhì)的便是ABS塑料了,ABS鍍上膜層后,能夠很好的發(fā)揮其機械功能、抗沖擊性,依靠其硬度大,耐磨損,本錢不高,常常被用于替代某些金屬機械零部件,也用于出產(chǎn)家用電器的外殼,但由于含有丁二烯,ABS不能在室外運用,否則會變色。
工件常用的除氣方法是烘烤。工件中的氣體和水分通過加熱排出。涂裝前,工件邊抽邊加熱。當工件中的水分和氣體因受熱而釋放出來時,它們與真空室中的氣體一起被真空泵抽出。針對不同的工件采取不同的脫氣措施,可以有效控制工件內(nèi)部氣體和水的排放,提高涂層的穩(wěn)定性和均勻性。
與傳統(tǒng)的鍍膜方法相比,真空鍍膜屬于干法鍍膜,其主要方法有以下幾種:
1.真空蒸發(fā)
其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華,蒸發(fā)的離子流直接射向基片,在基片上沉積固體薄膜。
2.濺射涂層
濺射鍍膜是一種真空條件,在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.離子電鍍法
即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,所以具有兩者的工藝特點。在真空條件下,工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過氣體放電被部分電離,蒸發(fā)物質(zhì)或其反應物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過程中,襯底總是受到高能粒子的轟擊,這使得它非常干凈。
4.真空卷繞涂層
真空鍍膜是通過物理氣相沉積在柔性基板上進行連續(xù)鍍膜的技術(shù),以實現(xiàn)柔性基板的某些功能性和裝飾性。
檢查泄漏情況是真空鍍鈦機真空度的一種檢查方法,簡稱檢漏。真空的凹凸度直接影響鍍膜的作用,因此檢漏是的。通常情況下,真空室的漏氣是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接頭引起的。抽氣系統(tǒng)抽氣時,真空室內(nèi)壓力降低。內(nèi)外壓差使氣體從外部高壓流向低壓真空室,造成真空度降低。
在檢漏過程中,為了做好檢漏工作,有必要注意一些問題。
,檢查虛漏是否仍為實漏,因為工件數(shù)據(jù)加熱后會出現(xiàn)不同程度的氣體,有可能被誤認為是從外部流出的氣體,這就是虛漏,要消除這種情況。
第二,測試真空室的氣密性功能,確保氣密性功能符合要求。
三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速,編制解決方案并實施。
四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度,要檢查刻度的泄漏情況,防止一些泄漏孔被疏忽,提高泄漏檢測的準確性。
五、掌握檢漏儀的反應時間和消除時間,把握好時間,檢漏儀操作到位,時間少,檢漏功能一定差,時間長,浪費檢漏氣和人工電。
六、還要防止泄漏堵塞,有時由于操作失誤,在檢漏過程中,一些灰塵或液體將泄漏堵塞,認為孔的方向沒有泄漏,但當由于內(nèi)外壓差進展或其他原因?qū)е滦孤┛孜炊氯麜r,泄漏仍在那里。
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