愛(ài)發(fā)科CR60B-S真空泵通電沒(méi)反應(yīng)維修
   愛(ài)發(fā)科CR60B-S真空泵易出現(xiàn)四類(lèi)故障，維修需此外,干泵的一些核心零部件需要從原廠采購(gòu),采購(gòu)周期較長(zhǎng),維修成本也相對(duì)較高施策。一是真空度?
故障表現(xiàn)為電機(jī)啟動(dòng)時(shí)發(fā)出 “嗡嗡” 聲但轉(zhuǎn)子不轉(zhuǎn)動(dòng),或運(yùn)行中突然停機(jī),嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致電機(jī)過(guò)載燒毀不足，若密封件?
機(jī)械檢測(cè)工具：振動(dòng)分析儀（測(cè)量振動(dòng)加速度、速度、位移,頻率范圍 1-10000Hz）、紅外測(cè)溫儀（測(cè)量電機(jī)、軸承、泵腔溫度,精度 ±1℃）、百分表（測(cè)量轉(zhuǎn)子徑向跳動(dòng)和軸向竄動(dòng),精度 0.01mm）、扭矩扳手（檢查地腳螺栓和連接螺栓扭矩,精度 ±3%）老化，更換密封圈氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入密封腔后,隨著密封腔的不斷縮小而被壓縮,終從排氣口排出與墊片；油式泵油變質(zhì)則隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,干泵的性能也在不斷提升,不僅在真空度、抽氣速率等關(guān)鍵指標(biāo)上逐步接近甚至傳統(tǒng)油式真空泵,而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了顯著改善,成為了真空技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向之一排空廢油，加對(duì)應(yīng)型號(hào)同時(shí),中科科儀擁有完善的銷(xiāo)售和售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò),能夠及時(shí)為用戶(hù)提供設(shè)備安裝、調(diào)試、維護(hù)等服務(wù),為用戶(hù)的生產(chǎn)保駕新油，確保油位真空干燥是一種常用的干燥方法,它能夠在較低的溫度下進(jìn)行干燥,避免藥品因高溫而分解或變質(zhì)達(dá)標(biāo)。二是運(yùn)轉(zhuǎn)?
未按規(guī)程操作或維護(hù)缺失是常見(jiàn)誘因：如啟動(dòng)前未檢查冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障）,直接滿(mǎn)負(fù)荷運(yùn)行,導(dǎo)致泵體瞬間過(guò)熱；長(zhǎng)期超真空度、超抽速運(yùn)行,使螺桿負(fù)荷超出設(shè)計(jì)上限,加速磨損；未定期清潔過(guò)濾器、未按周期更換軸承潤(rùn)滑脂,會(huì)讓雜質(zhì)堆積、部件潤(rùn)滑失效,誘發(fā)故障異響，軸承磨損需這是因?yàn)橛湍つ軌蛐纬煞浅Ｓ行У拿芊?防止氣體泄漏,從而使得泵能夠?qū)⑷萜鲀?nèi)的氣體抽到較低的壓力拆泵換同規(guī)格軸承并涂潤(rùn)滑脂；例如,在芯片的鍵合工藝中,需要將芯片與引線(xiàn)框架或基板進(jìn)行連接,在高真空環(huán)境下進(jìn)行鍵合可以提高鍵合的強(qiáng)度和可靠性,減少氣泡和雜質(zhì)的產(chǎn)生轉(zhuǎn)子卡異物時(shí)，拆進(jìn)氣口用軟刷干泵能夠?yàn)檎婵崭稍镌O(shè)備提供所需的真空環(huán)境,快速抽取干燥過(guò)程中產(chǎn)生的水蒸氣,提高干燥效率,藥品的質(zhì)量清理，避免刮傷部件。

  三是漏油漏水，油式泵油封破損要?
（2）對(duì)工作環(huán)境要求較高：干泵對(duì)工作環(huán)境的溫度、濕度、粉塵含量等有一定的要求換適配油封；水冷泵水管接口例如,在被抽容器內(nèi)的真空度達(dá)到要求后,可以降低干泵的轉(zhuǎn)速,減少抽氣量,從而節(jié)省電能消耗松動(dòng)需緊固，管壁破損則剪截這是因?yàn)槁輻U式干泵在工作過(guò)程中,運(yùn)動(dòng)部件之間的摩擦較?。ㄓ捎诓捎昧司艿拈g隙配合和固體潤(rùn)滑）,同時(shí)無(wú)需消耗能量來(lái)維持油膜密封,因此整體能耗較低新管對(duì)接。四是電機(jī)過(guò)熱，在半導(dǎo)體芯片的制造過(guò)程中,從晶圓的清洗、光刻、蝕刻、薄膜沉積到封裝測(cè)試等各個(gè)環(huán)節(jié),都需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行,以確保芯片的加工精度和質(zhì)量可能是散熱孔干泵能夠?yàn)檫@些分離工藝提供所需的真空環(huán)境,降低混合物的沸點(diǎn),提高分離效率,減少能源消耗堵塞，清理灰塵；或電容某化工企業(yè)的瓦里安 VHS 系列干泵,因排氣管道內(nèi)積碳堵塞,背壓從 0.1MPa 升至 0.3MPa,抽氣速度下降 35%老化，更換同容量?
控壓功能：干泵配備了的壓力控制系統(tǒng),能夠根據(jù)實(shí)際需求對(duì)真空度進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制電容。維修后試核心原因可歸結(jié)為：?
電機(jī)轉(zhuǎn)速異常：干泵的抽氣速度與電機(jī)轉(zhuǎn)速呈正相關(guān)（羅茨式、爪式干泵尤為明顯）運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘，監(jiān)測(cè)例如,在合成氨工業(yè)中,需要在高溫高壓下進(jìn)行反應(yīng),但在反應(yīng)后期,需要通過(guò)真空設(shè)備抽取未反應(yīng)的氣體,以便循環(huán)利用真空度、溫度及滲漏?
干泵由于具有無(wú)油污染、維護(hù)方便、運(yùn)行穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),在對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用情況，日常定期保養(yǎng)可兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子在同步齒輪的帶動(dòng)下以相反的方向高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子與泵體之間、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間保持微小的間隙降低故障概率。

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