江蘇宿豫渦旋高真空泵回收 江蘇宿豫長(zhǎng)晶爐回收
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所述熱場(chǎng)73套裝在化料器坩堝72的外側(cè)，便硅料依次進(jìn)入加料坩堝62、裝料器71和化料器坩堝72，并在化料器坩堝72內(nèi)經(jīng)熱場(chǎng)73熔化后又進(jìn)入主爐室坩堝21，為了方便外部加料器6的移動(dòng)、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6升降的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和用于驅(qū)動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述外部加料器6通過(guò)加料器旋臂8連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便通過(guò)加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8升降，并通過(guò)加料器旋臂8帶動(dòng)外部加料器6升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接在加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋臂8之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置隨加料器旋臂8一起升降，并通過(guò)加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂8又帶動(dòng)外部加料器6旋轉(zhuǎn)。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，專利文獻(xiàn)CN1205362C公開(kāi)了 一種直拉硅單晶爐熱場(chǎng)的氣流控制方 法及裝置，其包括在單晶爐晶體生長(zhǎng)室內(nèi)的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導(dǎo)氣裝置，使含有一氧化硅的氣體的氣流經(jīng)密封導(dǎo)氣裝置的導(dǎo)氣管 及排氣口，在真空泵的作用下，排出爐外。密封導(dǎo)氣管裝置由導(dǎo)氣管、底 座、密封環(huán)、排氣口所組成，安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出，從而使混合氣體中的一氧化硅對(duì)加熱器和坩堝進(jìn)行腐蝕， 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內(nèi)充入時(shí)的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上，導(dǎo)致其流量較大，故而消耗量大，生產(chǎn)成本較高。

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液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開(kāi)啟，爐室、副爐室上升到位后對(duì)稱旋出，保主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動(dòng)取出晶體，拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過(guò)振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。

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