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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。?
對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi),也就是說對于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。?
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對較差(因為是脈沖濺射),晶向(外沿)生長的控制也比較一般。
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離子鍍膜,一個精密的工藝過程,其核心是離子濺射鍍膜。對于導(dǎo)電靶,偏壓電源扮演了關(guān)鍵角色,采用直流電場的精密調(diào)控,確保陰極表面的電子被加速,進而轟擊氣體分子,引發(fā)電離現(xiàn)象。這個過程中,電子被電場驅(qū)動,形成雪崩效應(yīng),直至氣體被擊穿,形成穩(wěn)定的電離電流,進而驅(qū)動離子加速,撞擊靶材,將原子釋放并沉積在樣品表面,形成所需涂層。
偏壓電源,就像熒光燈中的核心組件,它通過高頻轉(zhuǎn)換電路,以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細(xì)調(diào)整通過改變高頻轉(zhuǎn)換電路的輸入電壓實現(xiàn),穩(wěn)壓性能高達1%。這種設(shè)計允許在工藝所需電壓的同時,通過調(diào)整脈沖寬度來控制工件的加熱效果,適用于各種涂層需求,從工具保護到裝飾美化。
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在簡易隔離式偏壓電源設(shè)計中,非對稱半橋反激電路是關(guān)鍵。它通過同步降壓電路提供隔離電源,類似于同步降壓調(diào)節(jié)器的工作原理。輸入電壓驅(qū)動的場效應(yīng)管(FET)驅(qū)動電感電容濾波器,隨后通過分壓器和誤差放大器的協(xié)同作用,調(diào)整濾波器輸出,保持DC電壓穩(wěn)定。特別之處在于,電感電路中的耦合繞組和二極管設(shè)計巧妙地解決了負(fù)載電壓調(diào)節(jié)的難題,通過二極管的直流電壓調(diào)整,提升了負(fù)載調(diào)節(jié)的精度。如果采用場效應(yīng)管替代,性能將進一步提升。
總結(jié)起來,真空多弧離子鍍膜機的偏壓電源是一個精密調(diào)控的系統(tǒng),它通過復(fù)雜的電路設(shè)計,確保了離子的加速和沉積過程,從而實現(xiàn)的涂層工藝。無論是直流還是脈沖電源,每一環(huán)節(jié)都對終的鍍膜效果有著至關(guān)重要的影響。
真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備主要用于在經(jīng)予處理的塑料、陶瓷等制品表面蒸鍍金屬薄膜(鍍鋁、鉻、錫、不銹鋼等金屬)、七彩膜仿金膜等,從而獲得光亮、美觀、的塑料,陶瓷表面金屬化制品。廣泛應(yīng)用于工藝美術(shù)、裝璜裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、女式鞋后跟等領(lǐng)域,
JTPZ多功能鍍膜技術(shù)及設(shè)備(加有射頻等離子體聚合的蒸發(fā)鍍膜機),針對汽車、摩托車燈具而設(shè)計的,在一個真空室內(nèi)完成蒸發(fā)鍍鋁和射頻等離子體鍍保護膜,這種鍍膜后燈具具有“三防”功能。射頻等離子體聚合膜還應(yīng)用于光學(xué)產(chǎn)品、磁記錄介質(zhì)、軍事保護膜;防潮增透膜;防銹抗腐蝕;耐磨增硬膜。
利摘要顯示,本申請關(guān)于一種真空鍍膜自動加料裝置,涉及真空鍍膜領(lǐng)域。該真空鍍膜自動加料裝置包括支架,支架上安裝有滑動機構(gòu),滑動機構(gòu)上安裝有驅(qū)動機構(gòu)以及加料機構(gòu),驅(qū)動機構(gòu)的動力輸出端與加料機構(gòu)傳動連接;加料機構(gòu)的上方還安裝有儲料罐,儲料罐將粉料輸送至加料機構(gòu)內(nèi),加料機構(gòu)與外部管式爐的進料口接駁;其中,儲料罐上還安裝有攪拌機構(gòu),攪拌機構(gòu)將儲料罐內(nèi)的粉料均勻的輸送至加料機構(gòu)內(nèi)。實現(xiàn)了在CVD過程中,粉末狀態(tài)的蒸發(fā)材料(如派瑞林)少量、連續(xù)進入管式爐以進行后續(xù)的加熱、升華、裂解工藝,既滿足了蒸發(fā)材料的用量,又達到了實時動態(tài)調(diào)整進料量的目的,提升了鍍膜效果,并實現(xiàn)了一種以上的蒸發(fā)材料復(fù)合鍍膜的工藝需求。
現(xiàn)場實際運行證明丹佛斯FC302驅(qū)動器+MCO305運動控制器的解決方案完夠滿足真空鍍膜機的卷繞控制要求。整機加減速速度超過原來的控制方式,大大減少了原材料的浪費??刂葡到y(tǒng)調(diào)試和參數(shù)設(shè)置都比較方便。令客戶滿意的是電機可以采用比較經(jīng)濟的交流異步電機,在張力控制精度要求更高的場合才需要升級使用交流永磁同步電機。由于FC302既能驅(qū)動異步電機,又能驅(qū)動同步電機,系統(tǒng)升級時只需簡單地更換電機即可。
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