深圳GSI鉭鈮礦檢測技術有限公司擁有大型的實驗室，配備精良的測試儀器，與華南地區(qū)各實驗室存在廣泛的合作關系。我們致力于以能力為客戶搭建一條、快速、優(yōu)惠的檢測認證通道；幫助客戶減少開發(fā)風險、縮短產(chǎn)品研發(fā)周期、降低產(chǎn)品成本；及時獲得各國市場的準入證。

深圳鉭鈮礦化驗實驗室／檢測中心秉承：管理科學，公平公正；操作規(guī)范，數(shù)據(jù)準確；安全保密，廉潔自律的質(zhì)量方針和第三方公正實驗室的職業(yè)道德，熱誠為國內(nèi)客戶提供標準、檢測、認證工作的服務。

一定工作壓力下，制備的氮化鉭薄膜硬度高達４０００ｋｇ／ｍｍ２以上。本文探討了氮化鉭薄膜高硬度的原因，并且討論了隨氮分壓的提高薄膜織構變化的原因

研究表明，影響氮化鉭薄膜結合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度，氮分壓比、濺射電流為次要因素；氮分壓對氮化鉭薄膜的硬度影響較大

氮化鉭為黃綠色結晶，屬型結晶，相對密度為15.6。晶格常數(shù)為a=0.4336nm，c=0.4150nm。熔點為2950℃，顯微硬度為3200kg/mm2，轉(zhuǎn)化點溫度為17.8K。

利用磁控反應濺射技術制備了氮化鉭薄膜，利用ＴＥＭ、ＸＲＤ技術研究了薄膜的微觀結構。研究結果表明：薄膜中多相共存；薄膜晶粒細?。ǎ保叮睿碜笥遥煌瑫r還發(fā)現(xiàn)，在一定工作壓力下，隨著氮分壓的提高，氮化物晶粒形成的取向改變，即平行于基體表面生長的晶面會有改變。

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