GB/T 18867-2014是中國國家標(biāo)準(zhǔn)，它規(guī)定了電子工業(yè)用六氟化硫（SF6）的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯存以及安全相關(guān)事項(xiàng)。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)適用于通過硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)過精制和純化的六氟化硫，主要用于電子工業(yè)中，例如化學(xué)氣相沉積（CVD）過程中的清洗劑和等離子體應(yīng)用。 檢測方面，GB/T 18867-2014可能涵蓋了六氟化硫的純度、水分含量、毒性元素（如鐳等）的、機(jī)械雜質(zhì)、物理性質(zhì)（如密度、壓力等）以及可能的其他性能指標(biāo)。根據(jù)你提供的信息，還包括了對特定氣體（如可燃性氣體、醫(yī)用氣體、食品用氣體和電子工業(yè)用氣體）的通用要求，但具體檢測項(xiàng)目會詳細(xì)列出在標(biāo)準(zhǔn)中。 如果需要進(jìn)行GB/T18867-2014的六氟化硫檢測，通常流程可能包括樣本收集、填寫檢測申請表、提交樣品、檢測周期一般為3-5個(gè)工作日，之后可能需要支付檢測費(fèi)用并接收檢測  。如果你需要進(jìn)行具體的檢測，應(yīng)按照標(biāo)準(zhǔn)要求操作，并聯(lián)系的檢測機(jī)構(gòu)，如江蘇科海檢驗(yàn)有限公司湖北分公司，他們可能提供這些服務(wù)。

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