刀片主要由金剛石顆粒，結(jié)合劑等組成。結(jié)合劑用于固定刀片中的金剛石顆粒。因此，刀片的性能主要由金剛石顆粒尺寸，金剛石顆粒濃度，結(jié)合劑的種類決定。

我們一般根據(jù)結(jié)合劑類型將刀片分為硬刀和軟刀。軟刀通常使用樹脂作為結(jié)合劑，具有較好的柔韌性，一般用于切割硬脆材料，如石英、玻璃、陶瓷、硬質(zhì)合金，LT，LN，AlN等。而硬刀通常采用金屬結(jié)合劑或電鍍結(jié)合劑，這使得硬刀具有較高的剛性和耐磨性，適合切割較硬的材質(zhì)，如硅片，PCB板等。

刀片切割是指利用金剛石刀片對晶圓進(jìn)行切割的工藝，這是一種純粹的物理切割來分裂晶圓，一般厚度100um以上的晶圓適用于該劃片方式。金剛石刀片在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)沿切割道移動(dòng)，將晶圓完全切透，同時(shí)會(huì)使用水來冷卻刀片和晶圓，減少熱損傷以及帶走切割產(chǎn)生的碎屑。


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劃片刀的選擇一般來說要兼顧切割質(zhì)量、切割刀片壽命和生產(chǎn)成本。金剛石顆粒尺寸影響劃片刀的壽命和切割質(zhì)量。較大的金剛石顆粒度可以在相同的刀具轉(zhuǎn)速下，磨去更多的硅材料，因而刀具的壽命可以得到延長。然而，它會(huì)降低切割質(zhì)量（尤其是正面崩角和金屬／ILD得分層）。所以，對金剛石顆粒大小的選擇要兼顧切割質(zhì)量和制造成本。
金剛石顆粒的密度對切割質(zhì)量的控制也十分關(guān)鍵。對于相同的金剛石顆粒大小但具有不同密度的刀片，劃片刀每一個(gè)旋轉(zhuǎn)周期移去的硅材料是相同的，但是，平均到每一個(gè)金剛石顆粒移去的硅材料的量是不同的。

劃片機(jī)一般提供兩種切割模式，單刀切割（Single Cut）和臺階式切割（Step Cut），實(shí)驗(yàn)證明，劃片刀的設(shè)計(jì)不可能同時(shí)滿足正面崩角、分層及背面崩角的質(zhì)量控制的要求。這個(gè)結(jié)論對于晶圓厚度大于7 mil的低k晶圓尤為適用。為了減小正面金屬層與ILD層的分層，薄劃片刀會(huì)被采用，若晶圓較厚，則需選取刀鋒較長的刀片。但須注意，具有較高刀鋒／刀寬比的劃片刀在切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生擺動(dòng)，反而會(huì)造成較大的正面分層及背面崩角。
崩邊

正崩主要發(fā)生在晶圓的切割面（正面），背崩是指晶圓背面的崩邊。不管正崩與背崩，在晶圓劃片時(shí)都是不被允許的。崩邊產(chǎn)生的原因有：

1，不恰當(dāng)?shù)那懈顓?shù)導(dǎo)致崩邊

2，刀片磨損嚴(yán)重，鈍化的刀片邊緣增加了切割過程中的不規(guī)則作用力，從而增加了崩邊的可能性

3，刀片中的金剛石等磨料顆粒在切割過程中與晶圓表面材料發(fā)生撞擊，導(dǎo)致崩邊


北京汐源科技有限公司 漢高授權(quán)代理商，專注于電源、新能源、汽車電子、半導(dǎo)體行業(yè)膠黏劑產(chǎn)品，公司擁有一批高素質(zhì)的技術(shù)人員，為了客戶提供膠黏劑技術(shù)一站式解決方案。
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樂泰CP9410 貯存條件
佳貯存溫度：8-21℃. 貯存溫度低于8℃或者28℃對產(chǎn)品
性能可能有影響. 不要將任何材料倒回原包裝內(nèi)，除了以上
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目前，機(jī)械式金剛石切割是劃片工藝的主流技術(shù)。在這種切割方式下，金剛石刀片（Diamond Blade）以每分鐘3萬轉(zhuǎn)到4萬轉(zhuǎn)的高轉(zhuǎn)速切割晶圓的街區(qū)部分，同時(shí)，承載著晶圓的工作臺以一定的速度沿刀片與晶圓接觸點(diǎn)的切線方向呈直線運(yùn)動(dòng)，切割晶圓產(chǎn)生的硅屑被去離子水（DI water）沖走。依能夠切割晶圓的尺寸 ，目前半導(dǎo)體界主流的劃片機(jī)分８英寸和12英寸劃片機(jī)兩種。

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