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直拉法,也叫切克勞斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法,用直拉法生長單晶的設備和工藝比較簡單,容易實現(xiàn)自動控制,生產(chǎn),易于制備大直徑單晶,容易控制單晶中雜質(zhì)濃度,可以制備低電阻率單晶。據(jù)統(tǒng)計,世界上硅單晶的產(chǎn)量中70%~80%是用直拉法生產(chǎn)的。
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特點編輯HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動,便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設計,提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面,便于平臺下面設備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術,簡便干凈。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,主要產(chǎn)品 七大類:電阻爐、感應爐、真空爐、電子束爐、熱處理(或熔煉)機組、熱處理輔助設備、燃燒爐三. 電阻爐:三大部件:加熱器、爐襯、耐構(gòu)件 1. 分為周期式及連續(xù)式兩大類 2. 周期式爐的特征: A. 爐料同時加入同時取出 B. 加熱時爐料基本不動(特殊情況除外:如滾筒爐,輥底爐) C. 工作區(qū)內(nèi)力求溫度均勻3. 周期式電阻爐的分類 A. 箱式爐 B. 臺車爐(分為自行式和牽引式),用作退火之用,加熱后工件隨爐冷卻 C. 井式爐
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