江蘇廣陵渦旋高真空泵回收 江蘇廣陵直拉式單晶爐回收

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原理簡介，把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化；然后，對熔化的硅液稍做降溫，使之產(chǎn)生一定的過冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體（稱作籽晶）插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會在籽晶下端生長；接著，控制籽晶生長出一段長為100mm 左右、直徑為3～5mm的細頸，用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯，這個過程是引晶；隨后，放大晶體直徑到工藝要求的大小，一般為75～300mm，這個過程稱為放肩；接著，突然提高拉速進行轉(zhuǎn)肩操作，使肩部近似直角；然后，進入等徑工藝，通過控制熱場溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時，再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成，進行一定的保溫冷卻后可以取出。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述主爐室內(nèi)設(shè)置有主爐室坩堝，所述下驅(qū)動裝置和主爐室坩堝相連，以便通過下驅(qū)動裝置動主爐室坩堝升降，所述副爐室和主爐室相連通，所述上驅(qū)動裝置安裝在副爐室的上端，以便通過上驅(qū)動裝置驅(qū)動拉晶，它還包括：外部加料器，所述外部加料器內(nèi)設(shè)置有加料腔，所述加料腔內(nèi)設(shè)置有加料坩堝，所述外部加料器的蓋裝有上蓋；用于熔化硅料的外部化料器，所述外部化料器的和加料坩堝相連通，所述外部化料器的底端和主爐室坩堝相連通，以便將硅料加加料坩堝后，硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流主爐室坩堝內(nèi)。進一步提供了外部化料器的具體結(jié)構(gòu)，所述外部化料器包括裝料器、化料器坩堝和用于給化料器坩堝加熱以便硅料熔化的熱場，所述裝料器和加料坩堝相連通，所述化料器坩堝和裝料器相連通，所述熱場套裝在化料器坩堝的外側(cè)，便硅料依次進入加料坩堝、裝料器和化料器坩堝，并在化料器坩堝內(nèi)經(jīng)熱場熔化后又進入主爐室坩堝。

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