物理回收法（適用于金屬靶材）
真空熔煉：將屬靶材廢渣（如銅、鈦）在真空爐中（壓強 < 1Pa，溫度 1200-1600℃）熔煉，去除易揮發(fā)雜質（如鋅），直接澆鑄為新靶材坯料，純度保持 99.9% 以上。
粉末冶金：靶材碎屑經氫化 - 脫氫處理（HDH 工藝）制成金屬粉末，再通過壓制 - 燒結（如放電等離子燒結 SPS）制成靶材，適用于鈦、鋯等活性金屬。

廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設備維護：真空腔體內殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產物：反應氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。

電鍍廢渣，是一種常見的工業(yè)廢料，由于其含有大量有害物質，對環(huán)境造成嚴重污染。然而，電鍍廢渣也是一種潛在的寶藏，其中蘊含著許多稀有金屬和有價值的資源。因此，有效回收電鍍廢渣不僅可以減少環(huán)境污染，還可以提高資源利用率，創(chuàng)造經濟效益。

電鍍廢渣中含有大量的稀有金屬和有價值的資源，如金、銀、銅等。這些資源具有重要的經濟價值，但由于電鍍廢渣的特殊性，這些寶貴的資源往往被忽視，直接被丟棄或者未經充分回收利用。通過電鍍廢渣的回收，可以有效提高資源利用率，降低資源浪費。


廢料預處理
1. 廢料分類與收集
來源區(qū)分：明確廢料類型（如電子廢料、電鍍廢渣、催化劑、首飾廢料、化工廢料等），不同來源的廢料貴金屬含量和雜質成分差異顯著。
物理分揀：通過人工或機械手段剔除廢料中的非金屬雜質（如塑料、陶瓷、玻璃、木材等），例如電子廢料中的線路板、芯片需與外殼分離。
2. 破碎與細化
對塊狀、固態(tài)廢料（如廢舊金屬器件、合金廢料）進行破碎、研磨，使其粒徑減小至便于后續(xù)處理的程度（如粉末狀），提高后續(xù)反應的接觸面積。

環(huán)保處理
回收過程中產生的廢液（如含酸、含氰、含重金屬離子）需經中和、沉淀、吸附等處理，達到環(huán)保排放標準后排放。
固體廢料（如浸出后的殘渣）若仍含微量貴金屬或有害成分，需進一步安全處置（如固化、填埋）或二次回收。

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