1960年Skarstrom提出PSA專利，他以5A沸石分子篩為吸附劑，用一個兩床PSA裝置，從空氣中分離出富氧，該過程經過改進，于60年代投入了工業(yè)生產。80年代，變壓吸附技術的工業(yè)應用取得了突破性的進展，主要應用在氧氮分離、空氣干燥與凈化以及氫氣凈化等。
變壓吸附空分制氧始創(chuàng)于20世紀60年代初(Skarstrom, 1960; Guerin de Montgarenil & Domine, 1964)，并于70年代實現(xiàn)工業(yè)化生產。在此之前,傳統(tǒng)的工業(yè)空分裝置大部分采用深冷精餾法(簡稱深冷法)
在不需要高純氧的中小規(guī)模(小于100噸/天，相當于3000Nm3/h )氧氣生產中比深冷法更具有競爭力。廣泛的應用于電爐煉鋼、有色金屬冶煉、玻璃加工、甲醇生產、炭黑生產、化肥造氣、化學氧化過程、紙漿漂白、污水處理、生物發(fā)酵、水產養(yǎng)殖、醫(yī)療和軍事等諸多領域(楊，1991; Kumar, 1996; Jee, Park, Haam & Lee,2002)。
吸附常常是在壓力環(huán)境下進行的，變壓吸附提出了加壓和減壓相結合的方法，它通常是由加壓吸附、減壓再組成的吸附一解吸系統(tǒng)。
常用的空氣分離方法是低溫精餾法分離。低溫分離方法通過壓縮循環(huán)深度冷凍的方法把空氣變成液態(tài)，經過低溫精餾根據(jù)不同沸點而從液態(tài)空氣中逐步分離生產出氧氣、氮氣及氬氣等惰性氣體的設備，廣泛應用于傳統(tǒng)的冶金、新型煤化工、大型氮肥、氣體供應等領域。
低溫精餾法
低溫精餾法方法是先將空氣冷卻至液化，然后在不同的沸騰溫度下選擇性地蒸餾成分。該工藝可以生產高純度氣體，能耗高。低溫分離過程要求熱交換器和分離塔緊密結合，以獲得良好的效率，所有制冷能量都由裝置入口的空氣壓縮機提供。
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