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11年
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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。?
對(duì)于濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。?
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld,組分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)較差(因?yàn)槭敲}沖濺射),晶向(外沿)生長(zhǎng)的控制也比較一般。
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離子鍍膜,一個(gè)精密的工藝過程,其核心是離子濺射鍍膜。對(duì)于導(dǎo)電靶,偏壓電源扮演了關(guān)鍵角色,采用直流電場(chǎng)的精密調(diào)控,確保陰極表面的電子被加速,進(jìn)而轟擊氣體分子,引發(fā)電離現(xiàn)象。這個(gè)過程中,電子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng),形成雪崩效應(yīng),直至氣體被擊穿,形成穩(wěn)定的電離電流,進(jìn)而驅(qū)動(dòng)離子加速,撞擊靶材,將原子釋放并沉積在樣品表面,形成所需涂層。
偏壓電源,就像熒光燈中的核心組件,它通過高頻轉(zhuǎn)換電路,以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細(xì)調(diào)整通過改變高頻轉(zhuǎn)換電路的輸入電壓實(shí)現(xiàn),穩(wěn)壓性能高達(dá)1%。這種設(shè)計(jì)允許在工藝所需電壓的同時(shí),通過調(diào)整脈沖寬度來控制工件的加熱效果,適用于各種涂層需求,從工具保護(hù)到裝飾美化。
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抽空時(shí)間相同,而真空度偏低,這時(shí)候關(guān)閉主閥,如真空計(jì)指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏,應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠,查找真空泵及閥門看哪里出現(xiàn)泄漏,或是擴(kuò)散泵油污染或氧化;或前級(jí)管路密封不好,泵油不足;或泵油乳化,軸封漏油等。漏--分內(nèi)漏和外漏,較大的漏點(diǎn)可以用火焰法,利用氣流能使火焰偏離的原理,先抽上真空,比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋,會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移,則可找到漏點(diǎn)。查找小漏和微漏:利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏,比如丙酮或乙醇,用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇,噴到漏點(diǎn)時(shí),電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心,一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了--也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了,然后再噴射。好是反復(fù)幾次,確認(rèn)漏點(diǎn)。內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上,查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn),但是卻有以下現(xiàn)象:機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。 對(duì)于濺射類鍍膜,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
利摘要顯示,本申請(qǐng)關(guān)于一種真空鍍膜自動(dòng)加料裝置,涉及真空鍍膜領(lǐng)域。該真空鍍膜自動(dòng)加料裝置包括支架,支架上安裝有滑動(dòng)機(jī)構(gòu),滑動(dòng)機(jī)構(gòu)上安裝有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及加料機(jī)構(gòu),驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端與加料機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接;加料機(jī)構(gòu)的上方還安裝有儲(chǔ)料罐,儲(chǔ)料罐將粉料輸送至加料機(jī)構(gòu)內(nèi),加料機(jī)構(gòu)與外部管式爐的進(jìn)料口接駁;其中,儲(chǔ)料罐上還安裝有攪拌機(jī)構(gòu),攪拌機(jī)構(gòu)將儲(chǔ)料罐內(nèi)的粉料均勻的輸送至加料機(jī)構(gòu)內(nèi)。實(shí)現(xiàn)了在CVD過程中,粉末狀態(tài)的蒸發(fā)材料(如派瑞林)少量、連續(xù)進(jìn)入管式爐以進(jìn)行后續(xù)的加熱、升華、裂解工藝,既滿足了蒸發(fā)材料的用量,又達(dá)到了實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)調(diào)整進(jìn)料量的目的,提升了鍍膜效果,并實(shí)現(xiàn)了一種以上的蒸發(fā)材料復(fù)合鍍膜的工藝需求。
1)所需設(shè)備:CCZK-1350-OGS光學(xué)電子槍鍍膜設(shè)備
2)獲得膜層:多層化合物膜層,超硬防水膜層,防指紋膜層,彩色膜層
3)涂裝流程:玻璃產(chǎn)品的前處理清洗----烘箱烘干-----真空鍍膜----成品包裝
4)基本配置:
腔體結(jié)構(gòu):D1350MM*H1350MM 立式單開門
腔體材質(zhì):304不銹鋼
轉(zhuǎn)動(dòng)方式:公自轉(zhuǎn)結(jié)合,穹頂行星式轉(zhuǎn)架
蒸發(fā)電源:SCR可控硅+大功率蒸發(fā)變壓器
蒸發(fā)阻源:3組
電 子 槍:E型電子槍,磁偏轉(zhuǎn)270°
坩 ? ?堝:可旋轉(zhuǎn)多孔位坩堝
所屬分類:設(shè)備回收/工廠設(shè)備回收
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