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直拉式單晶生長爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導流筒，IO為爐底護盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長過程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。
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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機穩(wěn)定可靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進一步為了防止在副爐室移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現(xiàn)事故，連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動推桿、接晶托電機和固定管，所述電動推桿連接在副爐室旋臂上，所述提升桿連接在電動推桿的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機連接在提升桿上，所述托板連接在接晶托電機的輸出軸上，以便通過接晶托電機驅(qū)動托板旋轉(zhuǎn)，所述固定管套裝在提升桿和電動推桿的推桿的外側(cè)，所述固定管連接在副爐室旋臂上。
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