無塵車間的分類：
1.亂流式（Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,級。
優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制
程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
2.層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點：構造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.復合式（Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
無塵車間的構成：
一般情況下，無塵車間是指器械生產(chǎn)和檢驗所需的工作環(huán)境，對于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，應包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對應的功能間，如注塑間、干燥間等；對于檢驗環(huán)節(jié)，應包括與檢驗有關的功能間，如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等；為生產(chǎn)服務的功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。
無塵車間的氣流組織形式是實現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側壁方向刮入清潔空氣，從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化。
無塵車間的氣流應滿足潔凈度和人體健康的要求，如關鍵工作操作點應位于潔凈空氣流的上風側，對散發(fā)有害物質(zhì)的工作點，人的頭部應避免在其空氣流正對的下風側。應使無塵車間氣流流
向單一。非單向流無塵車間內(nèi)設置操作臺時，其位置應遠離回風口。產(chǎn)品也不應擺放在回風口附近，因為回風口處的潔凈度比較差?；仫L口應均勻布置在無塵車間的下部，高度應低于工作臺面。無塵車間內(nèi)有局部排風裝置時，其位置應設在工作室氣流的下風側，以免氣流短路。

什么是十萬級無塵車間？
十萬級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒、有毒有害空氣、病源等的污染物排除出去，并將無塵室內(nèi)的溫度、潔凈度、氣流速度與氣流分布、室內(nèi)壓力、噪音振動及照明、靜電等控制在某一個需求的范圍以內(nèi)，而所設計出來具有特別意義的房間或環(huán)境室。另外，無論是車間外空氣條件怎樣發(fā)生不同變化，室內(nèi)也能夠具有維持原先所設定要求的溫濕度、潔凈度及壓力等性能的特性。

十萬級無塵車間的車間裝修設計規(guī)劃：
1、工程驗收：工程驗收的檢測應在整體工程完成后進行；檢測應為空態(tài)或靜態(tài)，當有需要時也可經(jīng)建設方（委托方）和檢驗方協(xié)商確定檢驗狀態(tài)；檢驗前，應對所測環(huán)境完全清潔，系統(tǒng)應已連續(xù)運行12h以上。
2、墻面：建筑裝飾材料應潔凈室的氣密性和裝飾表面不產(chǎn)塵、不吸塵、不積塵、易清理并防火；結構包柱。
3、地面：地面應平整，地坪漆應采用耐腐蝕、耐磨和抗靜電材料。
4、門窗：門窗應平整簡潔、不易積灰、容易清潔，鏈接處進行密封處理。
5、風系統(tǒng)：材料應使用絕熱、耐腐蝕、滿足防火要求；安裝設備應有減震措施。
6、其他：搬運大型設備的洞口，平時應采用不燃燒材料封閉；工業(yè)設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能；如有工業(yè)生產(chǎn)條件，可安裝自檢系統(tǒng)。

無塵車間回收設備具備的處理能力，能夠快速處理大量的廢棄物，提高生產(chǎn)效率；無塵車間回收設備采用環(huán)保的處理方法，能夠較大限度地減少廢棄物對環(huán)境的污染，并能夠節(jié)約能源和資源的消耗。

無塵車間回收設備具備安全可靠的特點，能夠確保操作人員的安全，并且能夠正常運行，減少故障和事故的發(fā)生；無塵車間回收設備能夠?qū)U棄物進行回收再利用，實現(xiàn)資源的循環(huán)利用，減少對自然資源的消耗。

回收無塵車間：嚴格控制無塵車間的設計參數(shù)（潔凈度和溫濕度）和無塵車間的面積，尤其是十級、百級級這樣的別單向流無塵車間的面積。因為潔凈級別越高，溫濕度精度要求越高，單位面積能耗越大。因此，實事求是該高則高，不要無原則地提高要求。無塵車間的面積不要留太大余地。尤其是別的無塵車間面積，盡量采用混合流以低級別代替別無塵車間。盡量縮小十級、百級單向流無塵車間的面積。