理化指標中較重要的是電導率和高錳酸鉀消耗量。電導率是純凈水的特征性指標，反映的是純凈水的純凈程度以及生產(chǎn)工藝的控制好壞。由于生活飲用水不經(jīng)過去離子純化的過程，因此是不考察此項指標的。而對于純凈水來說“純凈”是其基本的要求，金屬元素和微生物過高，都會導致電導率偏高。所以，電導率越小的水越純凈。

微生物指標在國標中規(guī)定了菌落總數(shù)、大腸菌群、致病菌和霉菌、酵母菌4項。從近幾年對純凈水檢測的情況看，微生物指標是比較容易超標的指標之一。這是由于微生物污染體現(xiàn)在純凈水在生產(chǎn)加工、運輸和銷售過程等各個環(huán)節(jié)上。在生產(chǎn)加工中，工人不注意個人衛(wèi)生，回收瓶的清洗、消毒不嚴格，甚至一些廠家為降低成本，回收瓶蓋再次使用，由于回收瓶蓋的變形，造成瓶口不密封都有可能引起微生物污染。微生物的超標反映出水的污染程度。其中大腸桿菌達到一定指標，會引起人體腹瀉。致病菌包括沙門氏菌、志賀氏菌、金黃色葡萄球菌和乙型鏈球菌。沙門氏菌、志賀氏菌污染的水會引起急性腸道傳染病，出現(xiàn)腹瀉發(fā)熱等癥狀；金黃色葡萄球菌產(chǎn)生的腸毒素會引起人體中毒，出現(xiàn)急性胃腸道癥狀，甚至危及生命；乙型鏈球菌則是造成人體化膿性炎癥的主要病原菌；霉菌和酵母菌普遍分布于自然界，在食物中生長的霉菌在繁殖過程中吸取了食品的營養(yǎng)成分使食品的營養(yǎng)價值降低，并且散發(fā)異味，影響食品的感官，尤其是霉菌生長的過程中產(chǎn)生的毒素會引起人體慢性中毒，嚴重者會導致癌癥。

在純水的制作中，水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術的復雜性和影響產(chǎn)品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質標準。電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

在高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

高純水的水質標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對水質的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術的現(xiàn)狀。

高純水不能作為飲用水的原因主要是，天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產(chǎn)高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。