產(chǎn)品別名 |
FY-8,多探針探針臺(tái),探針座數(shù)量,多探針測(cè)試臺(tái) |
面向地區(qū) |
探針臺(tái)如何工作？
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針?lè)胖玫酱郎y(cè)物上的正確位置。一旦所有探針都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。
對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤(pán)，壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi)，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類(lèi)：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。
探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。
F Y系列探針臺(tái) | ||||
功能/型號(hào) | FY-4-MN | FY-4 | FY-6 | FY-8 |
樣品臺(tái)尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
樣品吸附方式 | 真空吸附 | |||
樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 360度旋轉(zhuǎn)，±10度微調(diào) | |||
樣品臺(tái)升降 | 無(wú) | 有,10mm升降行程 | ||
樣品臺(tái)行程 | 50mm*50mm | 100mm*100mm | 155mm*155mm | 210mm*210mm |
樣品臺(tái)移動(dòng)精度 | 10um | 2um | 2um | 2um |
樣品臺(tái)升降 | 無(wú) | 10mm | ||
針座平臺(tái) | 方形結(jié)構(gòu) | U型結(jié)構(gòu)，可兼容探針卡 | ||
顯微鏡類(lèi)型 | 單筒顯微鏡、體視顯微鏡 | |||
顯微鏡倍率 | 200X | |||
顯微鏡移動(dòng) | 繞立柱360度旋轉(zhuǎn) | |||
探針座數(shù)量 | 4個(gè) | 6個(gè) | 8個(gè) | 10個(gè) |
探針座移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm | |||
探針座移動(dòng)精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um | |||
探針夾具 | 同軸線纜/三軸線纜 | |||
接頭類(lèi)型 | 三軸接頭/同軸接頭/香蕉頭/射頻接頭等 | |||
探針 | 鎢鋼或者鈹銅，針尖半徑可選 | |||
可搭配儀器 | 源表/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/萬(wàn)用表/示波器/網(wǎng)絡(luò)分析儀等 | |||
其他附件 | 高溫配置、鍍金樣品臺(tái)、屏蔽箱、光學(xué)平臺(tái)、轉(zhuǎn)接頭、轉(zhuǎn)接線等 | |||
公司所有產(chǎn)品出廠都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試，產(chǎn)品質(zhì)量，公司所有產(chǎn)品通過(guò)CE認(rèn)證，通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。
