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氧化鋁拋光液是一種常用的表面處理劑,廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、塑料等材料的拋光過(guò)程中。它由氧化鋁微粒和穩(wěn)定劑組成,具有良好的拋光效果和穩(wěn)定性。
氧化鋁拋光液作為一種常用的表面處理劑,具有良好的拋光效果和穩(wěn)定性。正確選擇和使用拋光液,可以提高材料的表面質(zhì)量和光潔度,達(dá)到預(yù)期的拋光效果。
優(yōu)點(diǎn):
1.懸浮性好,不易沉淀,使用方便。
2.顆粒分散均勻,不團(tuán)聚,軟硬度適中,有效避免拋光過(guò)程中由于顆粒團(tuán)聚導(dǎo)致的工件表面劃傷缺陷。
3.運(yùn)用拋光過(guò)程中的化學(xué)新作用,提高拋光速度,改善拋光表面的質(zhì)量。
4.分散性好、乳液均一,程度提升拋光速率的同時(shí)降低微劃傷的概率,可以提高拋光精度。
5.無(wú)粉塵產(chǎn)生,關(guān)注環(huán)保和人體健康安全。
氧化鋁拋光液是一種以多晶氧化鋁為主,氧化鋁顆粒大小均勻,相比氧化硅拋光液加工效率提高約3-4倍,成本節(jié)約30-50%,加工流程縮短,且不會(huì)在工件表面上形成硅元素結(jié)晶,減少清洗成本。
目前市場(chǎng)上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見(jiàn)的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對(duì)碳化硅晶圓表面無(wú)損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長(zhǎng)、易清洗、通用性好等特點(diǎn),適用于半導(dǎo)體碳化硅晶圓的CMP拋光。
氧化鋁拋光液具有以下性能:
1、晶相穩(wěn)定、硬度高、顆粒小且分布均勻,懸浮穩(wěn)定性好;
2、磨削力強(qiáng)、拋光快、光度亮、鏡面效果好;
3、研磨,拋光效果好,研磨效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)二氧化硅等軟質(zhì)磨料,表面光潔度優(yōu)于白剛玉的拋光效果,切削力強(qiáng)、出光快、能拋出均勻而明亮的興澤。
4、適用范圍廣,拋光后容易清洗。
使用與用量:
推薦用量為1~20%,使用者應(yīng)根據(jù)不同體系經(jīng)過(guò)試驗(yàn)決定佳添加量。
◆ 以防少許沉淀,建議使用前先搖勻。
◆ 使用時(shí),以不同濃度并據(jù)不同行業(yè)的需要可用過(guò)濾清潔水加以稀釋,調(diào)制不同濃度。
氧化鋁拋光液是一種應(yīng)用在金相拋光中的磨料。其實(shí),它的作用還遠(yuǎn)不止于此。它還可以去除樣品表面肉眼不可見(jiàn)的表面變形層,尤其是使用高倍物鏡、偏振光、微分干涉或EBSD 技術(shù)檢測(cè)或是評(píng)定樣品時(shí)。對(duì)于一些做鑄鐵、鋼、不銹鋼、銅、聚合物、礦物質(zhì)、微電子、貴金屬等金相樣品制備的實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō),氧化鋁拋光液是的一種磨料。
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