真空工作室可以具有任何期望的體積，從幾升到幾百立方米。它們可以配備電子槍?zhuān)蕴峁┤魏嗡璧墓β矢哌_(dá)100 kW的電子束，如果需要，甚至更高。在微電子束裝置中，尺寸可以到十分之一毫米的部件可以被焊接。在具有足夠高功率電子束的焊機(jī)中，可以實(shí)現(xiàn)300 mm深的焊接。還有一些焊接機(jī)，其中電子束從真空中帶到大氣中。使用這種設(shè)備，無(wú)需的工作室即可焊接非常大的物體。

即使沒(méi)有在真空中實(shí)現(xiàn)，電子束焊接也永遠(yuǎn)不能“手動(dòng)”進(jìn)行，因?yàn)槭冀K會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的X射線。梁和工件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)通常是通過(guò)工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。在某些情況下，可通過(guò)計(jì)算機(jī)控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動(dòng)光束來(lái)實(shí)現(xiàn)焊接。工件機(jī)械手大多是單設(shè)計(jì)的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

電子束焊機(jī)加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負(fù)電荷的電子束高速飛向陽(yáng)極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚集，使能量密度十分會(huì)集，可以把一千瓦或更高的功率會(huì)集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達(dá)109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬(wàn)分之一秒時(shí)間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來(lái)不及向周?chē)鷶U(kuò)散，就已把局部材料瞬時(shí)熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機(jī)照耀點(diǎn)亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對(duì)電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點(diǎn)或許到達(dá)很深的深度，從而可打出很細(xì)很深的微孔。

電子束焊機(jī)加工具有以下的特色：
1）能量密度高電子束聚集點(diǎn)范圍小，能量密度高，適合于加工精微深孔和窄縫等。且加工速度快，。
2）工件變形小電子束加工是一種熱加工，主要靠瞬時(shí)蒸騰，工件很少發(fā)生應(yīng)力和變形，并且不存在工具損耗。適合于加工脆性、耐性、導(dǎo)體、半導(dǎo)體、非導(dǎo)體以及熱敏性材料。
3）加工點(diǎn)上化學(xué)純度高 由于整個(gè)電子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室內(nèi)進(jìn)行的，所以熔化時(shí)可以防止由于空氣的氧化作用所發(fā)生的雜質(zhì)缺點(diǎn)。適合于加工易氧化的金屬及合金材料，特別是要求純度高的半導(dǎo)體材料。
4）電子束焊機(jī)可控性好 電子束的強(qiáng)度和方位均可由電、磁的方法直接控制，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化加工。

電子束焊機(jī)與核工業(yè)的展開(kāi)息息相關(guān)。因?yàn)楹溯椛涞姆雷o(hù)，對(duì)核容器質(zhì)量提出了的要求，一些大厚度結(jié)構(gòu)選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法無(wú)法完結(jié)的接頭，核工業(yè)中選用的一些難熔高溫材料，選用傳統(tǒng)焊接或激光焊接方法很難完結(jié)聯(lián)接，而電子束焊機(jī)能夠很好地完結(jié)其聯(lián)接。往后幾十年中，我國(guó)的核能裝備將以幾何級(jí)數(shù)增加，電子束焊接作為一種的聯(lián)接技術(shù)，必將在其中發(fā)揮重要作用。

20 世紀(jì) 60 年代初，電子束焊機(jī)逐漸運(yùn)用于飛機(jī)制造業(yè)和宇航工業(yè)中名貴金屬的焊接。跟著現(xiàn)代航空和宇航等技術(shù)的運(yùn)用而敏捷展開(kāi)起來(lái)，成功地處理了為現(xiàn)代產(chǎn)品而展開(kāi)的各種新式材料的焊接問(wèn)題。電子束焊接并且在汽車(chē)工業(yè)、船舶工業(yè)和機(jī)械制造業(yè)等領(lǐng)域運(yùn)用也日益廣泛。