電子束焊接（EBW）是一種融合焊接工藝，其中將高速電子束施加到兩種要連接的材料上。當電子的動能在撞擊時轉化為熱量時，工件熔化并一起流動。電子束焊接通常在真空條件下執(zhí)行，以防止電子束散逸。

設備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機械手（定位機構），
電源以及控制和監(jiān)視電子設備。

通過聚焦透鏡后，光束可以直接或通過偏轉系統(tǒng)偏轉后用于焊接。它由兩對線圈組成，每個X和Y方向一個。這些可以用于“靜態(tài)”或“動態(tài)”偏轉。靜態(tài)偏轉對于通過焊接定位梁很有用。動態(tài)偏轉是通過向偏轉線圈提供可由計算機控制的電流來實現(xiàn)的。這為電子束應用開辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當?shù)碾娮釉O備）。在這種情況下，設備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計算機控制的細光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

即使沒有在真空中實現(xiàn)，電子束焊接也永遠不能“手動”進行，因為始終會產(chǎn)生強烈的X射線。梁和工件的相對運動通常是通過工件的旋轉或線性移動來實現(xiàn)的。在某些情況下，可通過計算機控制的偏轉系統(tǒng)移動光束來實現(xiàn)焊接。工件機械手大多是單設計的，可以滿足焊接設備的特定要求。

高壓設備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達約1000 V的負電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計算機控制的成像，雕刻或類似的光束應用，后提到的可能會非常復雜?？赡苓€需要復雜的電子設備來控制工件機械手。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機照耀點亦越深入。由于孔的內(nèi)側壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

電子束焊是熔化焊的一種，它運用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機提示它包含了機械、真空、高電壓和電磁場理論、電子光學、自動控制和計算機等多學科技術。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

宇航技術中所用各類火箭、衛(wèi)星、飛船、空間站、太陽能電站等的結構件、發(fā)動機以及各種儀器均需用焊接技術來完結，電子束焊接將是完結空間結構焊接和滿足其需求的強有力技術。且跟著設備、技術等國產(chǎn)化趨勢的增強，及電子束焊接等技術對焊材及人工本錢的大幅下降優(yōu)勢逐漸趨于明顯等，國內(nèi)電子束焊機等電子束金屬加工設備工作展開將迎來利好趨勢，給電子束焊機的展開增添了新的生機。