用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮?dú)?，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計(jì))。

無(wú)塵潔凈烘箱的使用注意事項(xiàng)及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長(zhǎng)期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對(duì)烘箱內(nèi)溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動(dòng)記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過(guò)濾器，每次運(yùn)風(fēng)循環(huán)均充分過(guò)濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對(duì)內(nèi)部的二次污染.D.裝有過(guò)濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過(guò)濾器反復(fù)過(guò)濾，了進(jìn)入無(wú)塵空間的熱風(fēng)達(dá)到100級(jí)潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護(hù))，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(zhǎng)亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

按動(dòng)“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺(tái)車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺(tái)車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。

無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過(guò)擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無(wú)防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機(jī)、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無(wú)塵潔凈烤箱的日常維護(hù)保養(yǎng)工作，使用、維護(hù)應(yīng)有專職人員進(jìn)行，保養(yǎng)時(shí)先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級(jí)和百級(jí)過(guò)濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設(shè)備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預(yù)防材料在烤箱內(nèi)變質(zhì)。在過(guò)去，制作特定產(chǎn)品時(shí)，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過(guò)使用無(wú)塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。