超凈無(wú)塵凈化車(chē)間目前已經(jīng)是工業(yè)半導(dǎo)體、精密配件制造、LED液晶平面生產(chǎn)、光學(xué)鏡片制造、精密電子線路板、SMT無(wú)塵車(chē)間、PCB凈化車(chē)間、光伏新能源電池生產(chǎn)、塑料化工生產(chǎn)、電鍍/噴涂車(chē)間不可缺失的重要硬件設(shè)施，近十幾年來(lái)，由于技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展越來(lái)越快，社會(huì)及工業(yè)對(duì)產(chǎn)品的精密度及微型化的需求越來(lái)越迫切，如大型積體電路小型化研究就其配件的微小化制造，已經(jīng)新能源的發(fā)展，新能源電池組生產(chǎn)的輕質(zhì)微小化，都以成為在科學(xué)技術(shù)上極為重視的科研項(xiàng)目，電子行業(yè)內(nèi)的需求也一直在要求微電子超凈無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)日新月異的發(fā)展。

一、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車(chē)間平面布局要求

1. 凈化車(chē)間潔凈生產(chǎn)區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)

2. 無(wú)塵生產(chǎn)輔助用房：潔凈等級(jí)設(shè)置為萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)，一般包括人流進(jìn)出潔凈用房，物料進(jìn)出清潔區(qū)和部分車(chē)間辦公生活區(qū)等。

3. 超凈車(chē)間管理區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為十萬(wàn)級(jí)或三十萬(wàn)級(jí)，一般包括辦公室、會(huì)議室、值班室和休息區(qū)。

4. 車(chē)間生產(chǎn)設(shè)備區(qū)：該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃?jí)沒(méi)有要求，但要求與凈化車(chē)間設(shè)置有效的物理或空氣隔離，本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機(jī)房、電氣用房、純水間、生產(chǎn)用氣間。

二、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車(chē)間裝修要求

1. 車(chē)間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上人，對(duì)承重要進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。

2. 車(chē)間墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場(chǎng)地的占地面積，該彩鋼板在安裝時(shí)需要進(jìn)行接地處理，以到達(dá)排放靜電的功能。

3. 車(chē)間地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無(wú)塵車(chē)間內(nèi)須對(duì)上述兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。

三、超凈無(wú)塵凈化車(chē)間的空調(diào)設(shè)計(jì)方案

1. 超凈無(wú)塵凈化車(chē)間凈化原理

在解決了普通裝修易產(chǎn)塵的問(wèn)題后，超凈室重要的空間凈化措施為潔凈空調(diào)系統(tǒng)，凈化空調(diào)機(jī)組通過(guò)風(fēng)機(jī)將室內(nèi)及室外的部分新風(fēng)行初效過(guò)濾后，再進(jìn)行中效過(guò)濾，這兩級(jí)過(guò)濾在組合式凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)完成，然后用高靜壓風(fēng)機(jī)泵入管道，管道末端連接與室內(nèi)相同的特殊送風(fēng)箱，該送風(fēng)箱內(nèi)設(shè)置率過(guò)濾板，通過(guò)過(guò)濾器后的空氣進(jìn)入房間，通過(guò)凈化車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)工程師規(guī)劃的流動(dòng)路線，帶走房間內(nèi)的微小塵埃，根據(jù)不同級(jí)別的凈化等級(jí)需要，上述過(guò)程需重復(fù)不同的次數(shù)，這個(gè)問(wèn)題在下一節(jié)將給出具體參數(shù)。

2. 超凈無(wú)塵凈化車(chē)間循環(huán)參數(shù)

①?無(wú)塵車(chē)間按級(jí)別闡述房間換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間換氣次數(shù)每小時(shí)不能小于15次；萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間換氣次數(shù)每小時(shí)不能小于20次；千級(jí)無(wú)塵室換氣次數(shù)每小時(shí)不能小于50次；百級(jí)超凈室和十級(jí)超凈棚不以換氣次數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)，以全天花送風(fēng)的方式送風(fēng)，全地面回風(fēng)的方式回風(fēng)，即增大送風(fēng)和回風(fēng)口所占面積的比例，計(jì)算凈化組合式空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是以送風(fēng)速度控制在0.3-0.5m/s來(lái)進(jìn)行反向推算。

② 超凈無(wú)塵凈化車(chē)間的溫度和濕度控制范圍：冬季＞攝氏16度，夏季＜攝氏26度，波動(dòng)范圍為±攝氏2度；濕度在45-65%之間，具體以生存的產(chǎn)品特點(diǎn)來(lái)確定，正常波動(dòng)范圍在±5%，濕度同時(shí)在不同的數(shù)量值時(shí)對(duì)室內(nèi)的靜電也有特殊的效果，所以凈化車(chē)間內(nèi)的濕度要綜合考慮；

③ 噪音控制：超凈無(wú)塵凈化車(chē)間內(nèi)的噪音以工作人員的舒適度為主要依據(jù)，噪音標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定工作環(huán)境內(nèi)的噪音應(yīng)控制在≤65dB。

④ 新風(fēng)：為了室內(nèi)控制人員的舒適度問(wèn)題，按照暖通通風(fēng)標(biāo)準(zhǔn)凈化車(chē)間內(nèi)要適當(dāng)補(bǔ)充新風(fēng)，新風(fēng)量按照人員數(shù)量計(jì)算，按50m3/h計(jì)算。

四、光學(xué)超凈間設(shè)計(jì)關(guān)于空調(diào)材料的潔凈要求

1. 空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)管道采用鍍鋅鋼板制作，考慮到風(fēng)壓較大，建議采用中壓法蘭式風(fēng)管，外部采用橡塑作為保溫材料，橡塑需為阻燃性，以消防防火安全。

2. 送風(fēng)口可采用冷軋板制作，目前市面上有不銹鋼材質(zhì)送風(fēng)口，但根據(jù)永科的施工經(jīng)驗(yàn)，不銹鋼送風(fēng)口強(qiáng)度較差，在高風(fēng)壓的狀態(tài)下容易變形。而且不銹鋼送風(fēng)口的誕生主要是用于食品企業(yè)SC生產(chǎn)凈化車(chē)間，此類(lèi)車(chē)間對(duì)細(xì)菌數(shù)量有嚴(yán)格要求，但凈化級(jí)別較低，僅為10級(jí)凈化，送風(fēng)量要求比較小，風(fēng)壓也較小，這與光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車(chē)間的需求不一樣，所以不建議超凈無(wú)塵凈化車(chē)間的空調(diào)系統(tǒng)使用。3. 回風(fēng)口須采用可開(kāi)可調(diào)式風(fēng)口，不應(yīng)該采用固定百葉回風(fēng)口，超凈無(wú)塵凈化車(chē)間內(nèi)須在回風(fēng)口安裝中效過(guò)濾器，同時(shí)在潔凈車(chē)間的日常使用維護(hù)中，也需要定期清洗，可開(kāi)式風(fēng)口便于更換中效過(guò)濾器和衛(wèi)生清理；可調(diào)式風(fēng)口的作用主要是為了調(diào)節(jié)超凈無(wú)塵區(qū)域與普通潔凈區(qū)域的氣流組織，通過(guò)調(diào)節(jié)回風(fēng)口上的百葉，可達(dá)到調(diào)節(jié)室內(nèi)外壓差的作用。

五、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵潔凈車(chē)間凈化工程設(shè)計(jì)施工方案總結(jié)

凈化工程師或空氣凈化工程供應(yīng)商在此類(lèi)工程的設(shè)計(jì)施工過(guò)程中，要加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)產(chǎn)品特性的充分了解和熟悉，需要更多的與電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)部相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行溝通，根據(jù)該項(xiàng)目是新建車(chē)間或是舊車(chē)間技術(shù)升級(jí)改造，并結(jié)合光學(xué)微電子生產(chǎn)企業(yè)具體的生產(chǎn)流程和工藝等要求來(lái)確定其需要的工藝平面方案、溫度、濕度、潔凈度等，還要考慮生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)能規(guī)劃及建設(shè)經(jīng)濟(jì)計(jì)劃安排，綜合各方面因素后再確定使用什么樣的空氣凈化處理方案，只有達(dá)到各方面的平衡，才能建設(shè)出一個(gè)滿足生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)、運(yùn)營(yíng)要求的超凈無(wú)塵凈化車(chē)間。

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