特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下，實驗室內(nèi)能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

用途
無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內(nèi)溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內(nèi)部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內(nèi)部循環(huán)熱風經(jīng)高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵潔凈烤箱內(nèi)外應(yīng)經(jīng)常保持清潔，長期不用應(yīng)罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內(nèi)，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務(wù)必風機是正常運轉(zhuǎn)，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結(jié)構(gòu)、性能、工作原理及調(diào)整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。

無塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風電機、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無塵潔凈烤箱的日常維護保養(yǎng)工作，使用、維護應(yīng)有專職人員進行，保養(yǎng)時先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風和垂直送風，為了達到內(nèi)部無塵的環(huán)境，需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過回風口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設(shè)備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預(yù)防材料在烤箱內(nèi)變質(zhì)。在過去，制作特定產(chǎn)品時，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過使用無塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。