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MEMS技術應用使得金屬氧化物(MOX)氣體傳感器在晶圓級大規(guī)模生產(chǎn)中得以廣泛應用，大大降低了硅晶圓制造的成本。這些氣體傳感器裝置適用于一氧化碳(CO)和各種揮發(fā)性有機化合物，如：如乙醇、和甲苯的測量。出于健康和安全考慮，這些傳感器的應用主要包括環(huán)境監(jiān)測、生物研究、工業(yè)控制、便攜式酒精測量儀和家庭空氣監(jiān)測系統(tǒng)。MOX氣體傳感器采用MEMS技術，大大降低了制造成本。但是這些傳感器也經(jīng)過測試，這與典型半導體器件的制造和測試相比是一組特的挑戰(zhàn)。