回收拆除整套長晶爐設(shè)備-南通收購進(jìn)口紅寶石長晶爐
服務(wù)項(xiàng)目 |
整套長晶爐設(shè)備,進(jìn)口紅寶石長晶爐 |
面向地區(qū) |
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回收拆除整套長晶爐設(shè)備-南通收購進(jìn)口紅寶石長晶爐
單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。
購買技術(shù)主要要求
1.單晶爐裝料量(單臺機(jī)產(chǎn)能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯(cuò)密度) 5設(shè)備制造工藝控制 6自動化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。
單晶爐型號定義
單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的
單晶爐主要需要控制的方面
一、晶體直徑(尺寸)
二、溫度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氬氣質(zhì)量等
單晶爐熱場的設(shè)計(jì)與仿真
單晶直徑在生長過程中可受到溫度,提拉速度與轉(zhuǎn)速,坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速,保護(hù)氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶,而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量,而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場,不僅單晶生長順利,而且品質(zhì)較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量,情況嚴(yán)重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。因此在投資單晶生長企業(yè)的前期,一定要根據(jù)生長設(shè)備,配置出合理的熱場,從而生產(chǎn)出來的單晶的品質(zhì)。在晶體生長分析與設(shè)計(jì)中,實(shí)驗(yàn)與數(shù)值仿真是相輔相成的,其過程可以分為兩個(gè)部分:
(1)在階段,利用引上法晶體生長實(shí)驗(yàn)來進(jìn)行數(shù)值模擬參數(shù)的調(diào)整。
(2)在二階段,利用數(shù)值模擬是用來確定佳的晶體生長工藝參數(shù)。
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