多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)驗(yàn)等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器材制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。

關(guān)于真空鍍膜機(jī)所用的塑料材料，需要與膜層結(jié)合性高，放氣量小，受熱穩(wěn)定，一起滿意這三個(gè)條件的塑料資料是十分少的，但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應(yīng)用卻十分廣泛，所以塑料真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用也隨之發(fā)展起來，為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中，常常經(jīng)過各種方法改善。

塑膠具有易成型，價(jià)格便宜，質(zhì)量輕，防腐蝕等長(zhǎng)處，但塑膠的缺陷也比較，其缺陷也制約了塑膠的應(yīng)用規(guī)模，如不美觀、易老化、機(jī)械功能差、易碎易變型、耐熱差等。經(jīng)過真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用，使塑膠外表鍍上特定膜層，東莞匯成真空自主研制出產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備將鍍膜機(jī)資料和塑膠產(chǎn)呂結(jié)合，大大提高了塑膠制品的物理、化學(xué)功能。

眾所周知，真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運(yùn)行，有必要對(duì)真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)。那么，你知道真空鍍膜機(jī)維護(hù)的意義嗎?　　設(shè)備的日常維護(hù)就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異?，F(xiàn)象，盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油量減少，應(yīng)該添加。不要認(rèn)為應(yīng)該定期換油。否則，在進(jìn)行維護(hù)時(shí)，泵的轉(zhuǎn)子可能會(huì)嚴(yán)重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問題就嚴(yán)重了，可能會(huì)出現(xiàn)電機(jī)燒毀等問題。

定期保養(yǎng)，有人會(huì)問常規(guī)保養(yǎng)和定期保養(yǎng)的區(qū)別?事實(shí)上，每個(gè)設(shè)備都有使用壽命。例如，用于擴(kuò)散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們?cè)琰c(diǎn)換掉它。這是浪費(fèi)嗎?不，在生產(chǎn)中，設(shè)備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護(hù)和定期保養(yǎng)，不僅可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，還可以減少運(yùn)行故障，提高生產(chǎn)效率。

真空鍍膜機(jī)應(yīng)在真空過程前對(duì)真空材料進(jìn)行清洗，去除工件或系統(tǒng)材料表面的污染物;車燈鍍膜機(jī)零部件表面的清潔也是很有必要的，因?yàn)槲廴疚镆鸬臍怏w和蒸氣源不僅會(huì)使真空系統(tǒng)無法獲得所需的真空度。而且由于污染物的存在，還會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。

前期清洗真空鍍膜機(jī)可以減少很多麻煩，避免濺射鍍膜機(jī)的很多小問題，對(duì)真空鍍膜機(jī)的工作效率和鍍膜質(zhì)量有非常積極的作用。它可以大大提高真空系統(tǒng)中所有壁面和其他部件表面在各種工況下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括:高溫、低溫以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。
在鍍膜的過程中，由于工件內(nèi)氣體的受熱膨脹，很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開裂。當(dāng)然，這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的，比如塑料，概率就比較高，而對(duì)于堅(jiān)硬的材料，比如金屬，概率就比較低，但也不能忽略。因此，工件的除氣是非常必要的。
在檢漏過程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問題。

，檢查虛漏是否仍為實(shí)漏，因?yàn)楣ぜ?shù)據(jù)加熱后會(huì)出現(xiàn)不同程度的氣體，有可能被誤認(rèn)為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測(cè)試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實(shí)施。

四、得出檢測(cè)儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

五、掌握檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間，把握好時(shí)間，檢漏儀操作到位，時(shí)間少，檢漏功能一定差，時(shí)間長(zhǎng)，浪費(fèi)檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時(shí)由于操作失誤，在檢漏過程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認(rèn)為孔的方向沒有泄漏，但當(dāng)由于內(nèi)外壓差進(jìn)展或其他原因?qū)е滦孤┛孜炊氯麜r(shí)，泄漏仍在那里。