主要用于量產的帶通濾光片產品,包括生物醫(yī)療、熒光檢測及天文觀測用的濾光片,可以使產品的光學性能及穩(wěn)定性進一步得到保障,滿足生物療領域熒光濾光片對于高對比度、高信噪比、暗黑背景的要求。
OTFC-1300鍍膜機的基本配置是:搭載了10KV雙電子槍,750W的RF射頻離子源,光學膜厚監(jiān)控裝置(Optorun制,HOM2-R-VIS350A),低溫冷凝器(Polycold),油旋轉機械泵 (Edwards E2M275)羅茨機械泵(Edwards EH1200);多點和環(huán)型坩堝可鍍200層以上,膜厚可達20000nm之多。這就意味著單片鍍膜就可以達到截止深度OD5以上,不用再為了達到高OD值而再做兩片膠合了。從而大大提升了濾光片的成像質量以及產品合格率。
下面介紹其中兩個特點:
1.光學膜厚測量控制:
OTFC-1300鍍膜機是利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程,這就使生產效率得以顯著提高。光學膜厚監(jiān)控技術已經成為當今光學薄膜成膜自動化的核心技術。可以對薄膜的厚度進行無損的、實時的測量,并在達到所需厚度時能及時給出控制信號。這就意味著鍍膜更,公差更小,可以做到±0.1nm。
2. RF射頻離子源:
(1)加工精度高,便于控制。離子束可以通過離子光學系統進行聚焦掃描,可以控制尺寸范圍。高離子電流密度和均勻分布,照射面積能達到Ф1150mm以上。
(2)同使用燈絲型的離子源比較,它的壽命長,污染少。
(3)加工應力、變形極小。離子束加工工藝是一種原子級或分子級的微細加工,作為一種微觀作用,其宏觀壓力很小,適合于各種材料和低剛度工件的加工,而且加工表面質量高。
二手日本光馳OTFC-1550 1800鍍膜機 電鍍機