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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長的整個(gè)溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。

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各種汽車工具的熱變形（如套筒扳手）； 12、汽車、托車零部件的局部熱處理； 13、各種機(jī)械零部件的的局部熱處理（需廠家提供圖紙及技術(shù)要求）。 經(jīng)過齒輪軸淬火設(shè)備所淬軸類：硬度均勻、一致。淬層適中均勻。工作質(zhì)量很高。省電節(jié)能。操作方便。。齒輪軸淬火設(shè)備有多種電源和機(jī)床及輔助夾具的配置，可適用于直徑大500mm-小10mm的各種軸類零件的表面淬火。,是一種將工頻50HZ交流電轉(zhuǎn)變?yōu)橹蓄l（300HZ以上1000HZ）的電源裝置，把三相工頻交流電，整流后變成直流電，再把直流電變?yōu)榭烧{(diào)節(jié)的中頻電流，供給由電容和感應(yīng)線圈里流過的中頻交變電流，在感應(yīng)圈中產(chǎn)生高密度的磁力線，并切割感應(yīng)圈里盛放的金屬材料，在金屬材料中產(chǎn)生很大的渦流。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，提拉式單晶爐特點(diǎn)籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實(shí)現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時(shí)的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動(dòng)平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動(dòng)小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動(dòng)直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計(jì)，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動(dòng)式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。