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潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過濾器效率的提高等，對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。以下對(duì)這些問題的情況分別作歸納和分析。傳感器安裝方向水平，垂直或傾斜均可，不受限制。但測量固液兩種流體好垂直安裝，自下而動(dòng)，這樣不會(huì)出現(xiàn)水平安裝時(shí)下半部局部磨損嚴(yán)重，低流速時(shí)固相沉淀等缺點(diǎn)。水平安裝時(shí)要使電極軸線平行于地平線，不要垂直于地平線，因?yàn)樘幱诘撞康碾姌O易被沉積物覆蓋，頂部電極易被液體中偶存氣泡擦過遮住電極表面，使輸出信號(hào)波動(dòng)。傳感器好不要裝在管系的高點(diǎn)或頂部。傳感器安裝還應(yīng)避開或遠(yuǎn)離兩種電導(dǎo)率不同液體混合點(diǎn)的下游，因?yàn)閮煞N電導(dǎo)率不同液體未混合均勻或未反應(yīng)完全就流經(jīng)測量點(diǎn)，會(huì)引起儀表輸出晃動(dòng)。
