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一種實用的單晶爐提拉速度控制系統(tǒng)\前言半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料 ,在半導(dǎo)體材料中用量和用途廣的是半導(dǎo)體硅。當(dāng)今 95 %以上的半導(dǎo)體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產(chǎn)集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結(jié)晶生長開始時 ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質(zhì)量。當(dāng)今 ,隨著 IT產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產(chǎn)市場需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統(tǒng)具有重要的實際意義。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，二部分爐體(上部)1.速度編碼器的原理型號作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)2.光電編碼器的原理型號作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)3.減速器的原理型號構(gòu)造以及傳動原理( 好壞如何檢測)3.減速器的原理型號構(gòu)造以及傳動原理(好壞如何檢測)4.各電機(jī)作用構(gòu)造(好壞如何檢測)5.提升機(jī)構(gòu)的原理以及傳動方式6.液壓機(jī)構(gòu)的原理以及傳動方式,包括液壓泵的原理輸入輸出(好壞如何檢測)7.各限位的作用以及關(guān)系,限位原理,輸入輸出(好壞如何檢測8.磁流體的原理,用途(如何保養(yǎng))9.

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(4) 電氣硬件設(shè)置、本系統(tǒng)的電氣柜內(nèi)布局采用模塊化集中管理，各個模塊間連接簡單，單個模塊可以帶電維修，電機(jī)保護(hù)采用空氣開關(guān)和絲結(jié)合的方法便于操作和維護(hù)。同時主要的電氣點都能簡單的在端子板上查出。整個機(jī)箱布局合理，簡單。同時帶有雙色聲光報*燈進(jìn)行提示。