半導(dǎo)體工廠潔凈室通風(fēng)
晶圓制造車間要求AMC(氣態(tài)分子污染物)濃度<1ppb,PP風(fēng)管因其低析出特性(TVOC釋放量<0.05μg/m2·h)成為。某12英寸芯片廠在ISO Class 3潔凈室使用DN400食品級PP管道,內(nèi)壁經(jīng)電解拋光處理(Ra≤0.1μm),連接方式采用VCR密封接頭防止微粒泄漏。系統(tǒng)配置:風(fēng)機(jī)變頻控制保持5-8m/s層流風(fēng)速;HEPA過濾器上游20D直管段確保氣流穩(wěn)定;每月用超純水(電阻率18.2MΩ·cm)沖洗管道。與不銹鋼風(fēng)管相比,PP系統(tǒng)可降低30%的初始投資,且避免金屬離子污染風(fēng)險。
日常巡檢包括:每月檢查支架螺栓扭矩(M10螺栓需保持45N·m)、法蘭密封墊壓縮量(應(yīng)達(dá)初始厚度30%)。年度維護(hù)需進(jìn)行:內(nèi)窺鏡檢測(關(guān)注焊縫處)、壁厚超聲波測量(腐蝕率>0.5mm/年需預(yù)警)、靜電接地電阻測試。化學(xué)清洗采用3%氫氧化鈉溶液循環(huán)2小時(流速1.5m/s),禁用二氯甲烷等溶劑。更換標(biāo)準(zhǔn)為:局部壁厚減?。?0%、整體變形量>5%或出現(xiàn)貫穿性裂紋。
熱熔對接需嚴(yán)格控制五個參數(shù):加熱板溫度(210±5℃)、熔接壓力(0.15-0.25MPa)、吸熱時間(壁厚×10秒/mm)、切換時間(≤5秒)及冷卻時間(1.5分鐘/mm)。以DN200管為例,需使用500W焊機(jī),加熱階段施加初始壓力使管端形成1mm翻邊,吸熱階段保持恒定壓力,切換時迅速移開加熱板并加壓至0.3MPa。焊縫強(qiáng)度檢測需通過切片試驗(拉伸強(qiáng)度≥母材90%)和爆破試驗(1.5倍設(shè)計壓力)。常見缺陷如冷焊(溫度不足)、過熔(材料降解)會降低接頭壽命50%以上。
7年